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mcmmh2006

铜虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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帖子: 19
在线: 10.9小时
虫号: 910212
注册: 2009-11-23
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[交流] 【求助】在石英衬底上镀一层SiO2薄膜，用什么方法使膜厚达到微米量级已有12人参与

如题。
最好能讲的详细点啊，化学的方法，有文献最好！小妹万分感谢！！

[ Last edited by mcmmh2006 on 2010-7-31 at 10:03 ]

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1楼 2010-07-27 10:10:18

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fcjia515178

金虫 (小有名气)

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专业: 生物化学

mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:02:54

你可以采用金属等离子体化学气相沉积。采用某种气体和氧化物反应。

慢慢做，不要着急。

5楼2010-07-31 09:51:57

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