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tingchao1984

银虫 (小有名气)

磁控溅射
11楼2010-10-24 01:38:46
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)


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在石英上弄这么厚的SiO2确实有困难,
不过看你对膜质量的需要,磁控溅射速度慢,时间要很长。。。;
再就是表面微加工里面用于作为牺牲层的SiO2,可以做的更厚,但在石英上能不能做就不清楚了,虽然石英也是SiO2,还有人家愿不愿意做的问题
12楼2012-01-20 19:22:18
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chengl2007

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
石英不就是二氧化硅吗,二氧化硅上做二氧化硅?
13楼2012-02-22 18:46:56
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wangzhenwei

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
PEVCD吧。磁控溅射速率有限,尤其是对这种氧化物的靶,溅射速率和金属靶完全没办法比的。
14楼2012-03-19 10:21:50
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geejee

至尊木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我做过,石英表面PECVD生长2微米SiOx,没什么问题。
15楼2012-05-23 11:25:40
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wajn2012

铜虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
PVD和CVD都可以的
16楼2012-12-10 11:19:05
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xiaoyuejin

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
为什么要化学方法,难道你要单晶膜?
17楼2012-12-20 10:52:56
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yxliang05

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
857366楼: Originally posted by doublewei at 2010-07-28 08:54:13
电子束蒸发

蒸发源是si还是sio2?
18楼2013-01-31 06:11:02
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匿名

用户注销 (职业作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖仅楼主可见
19楼2013-01-31 18:21:51
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