【求助】在石英衬底上镀一层SiO2薄膜，用什么方法使膜厚达到微米量级 - 物理 - 凝聚态物理

11楼2010-10-24 01:38:46

maccaboy

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在石英上弄这么厚的SiO2确实有困难，
不过看你对膜质量的需要，磁控溅射速度慢，时间要很长。。。；
再就是表面微加工里面用于作为牺牲层的SiO2，可以做的更厚，但在石英上能不能做就不清楚了，虽然石英也是SiO2，还有人家愿不愿意做的问题

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12楼2012-01-20 19:22:18

chengl2007

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石英不就是二氧化硅吗，二氧化硅上做二氧化硅？

13楼2012-02-22 18:46:56

wangzhenwei

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PEVCD吧。磁控溅射速率有限，尤其是对这种氧化物的靶，溅射速率和金属靶完全没办法比的。

14楼2012-03-19 10:21:50

geejee

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我做过，石英表面PECVD生长2微米SiOx，没什么问题。

15楼2012-05-23 11:25:40

wajn2012

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PVD和CVD都可以的

16楼2012-12-10 11:19:05

xiaoyuejin

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为什么要化学方法，难道你要单晶膜？

17楼2012-12-20 10:52:56

yxliang05

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引用回帖:

857366楼: Originally posted by doublewei at 2010-07-28 08:54:13
电子束蒸发

蒸发源是si还是sio2?

18楼2013-01-31 06:11:02

匿名

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