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chenguang5895

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】磁控溅射合金时,Film的成分 已有6人参与

我现在用磁控溅射合金,靶材是3种金属的合金。他们的成分比是一定的。
但是成膜后,薄膜的成分比和靶材的相差很大。
而且不同的power density,薄膜的成分比也不同。
这是为什么啊?我虽然知道原因,不过好像不是很全面。还是请高手指点。

如果长期使用下去的,那么靶材的成分比会改变啊?
请高手指点迷津啊。
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chenguang5895

木虫 (著名写手)

那么,靶材用时间长了,是不是成分比就变了呢?
3楼2010-07-10 15:15:25
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yjyang07

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
tongling921(金币+1):谢谢回帖交流 2010-07-12 20:36:48
这个是正常现象
需要长时间的摸索条件即可
天行健,君子以自强不息~~~~~
2楼2010-07-10 11:22:13
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cjw796

金虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
tongling921(金币+1):谢谢回帖交流 2010-07-12 20:36:53
这就是所谓的选择性溅射,每种原子的质量不一样,溅射产率不一样,但是溅射时间长了,就会达到一个稳定的状态,薄膜的成分就会接近靶材成分。
引用回帖:
Originally posted by chenguang5895 at 2010-07-10 11:12:43:
我现在用磁控溅射合金,靶材是3种金属的合金。他们的成分比是一定的。
但是成膜后,薄膜的成分比和靶材的相差很大。
而且不同的power density,薄膜的成分比也不同。
这是为什么啊?我虽然知道原因,不过好像不 ...

[ Last edited by cjw796 on 2010-7-12 at 15:55 ]
4楼2010-07-12 15:37:46
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sashuiche

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by cjw796 at 2010-07-12 15:37:46:
这就是所谓的选择性溅射,每种原子的质量不一样,溅射产率不一样,但是溅射时间长了,就会达到一个稳定的状态,薄膜的成分就会接近靶材成分。


[ Last edited by cjw796 on 2010-7-12 at 15:55 ]

言之有理
6楼2010-07-30 11:54:41
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