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chenguang5895木虫 (著名写手)
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[交流]
【交流】磁控溅射合金时，Film的成分 已有6人参与
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我现在用磁控溅射合金，靶材是3种金属的合金。他们的成分比是一定的。 但是成膜后，薄膜的成分比和靶材的相差很大。 而且不同的power density，薄膜的成分比也不同。 这是为什么啊？我虽然知道原因，不过好像不是很全面。还是请高手指点。 如果长期使用下去的，那么靶材的成分比会改变啊？ 请高手指点迷津啊。 |
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