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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】磁控溅射合金时，Film的成分
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chenguang5895

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】磁控溅射合金时，Film的成分 已有6人参与

我现在用磁控溅射合金，靶材是3种金属的合金。他们的成分比是一定的。
但是成膜后，薄膜的成分比和靶材的相差很大。
而且不同的power density，薄膜的成分比也不同。
这是为什么啊？我虽然知道原因，不过好像不是很全面。还是请高手指点。

如果长期使用下去的，那么靶材的成分比会改变啊？
请高手指点迷津啊。
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1楼 2010-07-10 11:12:43
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★ ★
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tongling921(金币+1):谢谢回帖交流 2010-07-12 20:36:48
这个是正常现象
需要长时间的摸索条件即可
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天行健，君子以自强不息～～～～～
2楼2010-07-10 11:22:13
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chenguang5895

木虫 (著名写手)
那么，靶材用时间长了，是不是成分比就变了呢？
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3楼2010-07-10 15:15:25
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cjw796

金虫 (小有名气)
★ ★
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tongling921(金币+1):谢谢回帖交流 2010-07-12 20:36:53
这就是所谓的选择性溅射，每种原子的质量不一样，溅射产率不一样，但是溅射时间长了，就会达到一个稳定的状态，薄膜的成分就会接近靶材成分。
引用回帖:
Originally posted by chenguang5895 at 2010-07-10 11:12:43:
我现在用磁控溅射合金，靶材是3种金属的合金。他们的成分比是一定的。
但是成膜后，薄膜的成分比和靶材的相差很大。
而且不同的power density，薄膜的成分比也不同。
这是为什么啊？我虽然知道原因，不过好像不 ...

[ Last edited by cjw796 on 2010-7-12 at 15:55 ]
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4楼2010-07-12 15:37:46
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thunder2009

木虫 (知名作家)

过河的卒子
★
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在风雨中寻找方向，从绝望中提取希望！
5楼2010-07-12 15:44:31
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sashuiche

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by cjw796 at 2010-07-12 15:37:46:
这就是所谓的选择性溅射，每种原子的质量不一样，溅射产率不一样，但是溅射时间长了，就会达到一个稳定的状态，薄膜的成分就会接近靶材成分。


[ Last edited by cjw796 on 2010-7-12 at 15:55 ]

言之有理
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6楼2010-07-30 11:54:41
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czliou

铜虫 (初入文坛)
★
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引用回帖:
Originally posted by cjw796 at 2010-07-12 15:37:46:
这就是所谓的选择性溅射，每种原子的质量不一样，溅射产率不一样，但是溅射时间长了，就会达到一个稳定的状态，薄膜的成分就会接近靶材成分。


[ Last edited by cjw796 on 2010-7-12 at 15:55 ]

工作气体原子对不同的成分原子的溅射产额不一样。你原来靶的成分应该叫名义组分。实际制备后测量的叫“实际组分”。
差很多，很正常，不差就是奇迹了！
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珍惜时间，学习！做事！助人！
7楼2010-08-02 15:56:21
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