应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】磁控溅射合金时，Film的成分
71/1返回列表
查看: 1434  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

chenguang5895

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】磁控溅射合金时，Film的成分 已有6人参与

我现在用磁控溅射合金，靶材是3种金属的合金。他们的成分比是一定的。
但是成膜后，薄膜的成分比和靶材的相差很大。
而且不同的power density，薄膜的成分比也不同。
这是为什么啊？我虽然知道原因，不过好像不是很全面。还是请高手指点。

如果长期使用下去的，那么靶材的成分比会改变啊？
请高手指点迷津啊。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-07-10 11:12:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yjyang07

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
tongling921(金币+1):谢谢回帖交流 2010-07-12 20:36:48
这个是正常现象
需要长时间的摸索条件即可
赞一下(2人) 回复此楼
天行健，君子以自强不息～～～～～
2楼2010-07-10 11:22:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenguang5895

木虫 (著名写手)
那么，靶材用时间长了，是不是成分比就变了呢？
赞一下 回复此楼
3楼2010-07-10 15:15:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cjw796

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
tongling921(金币+1):谢谢回帖交流 2010-07-12 20:36:53
这就是所谓的选择性溅射，每种原子的质量不一样，溅射产率不一样，但是溅射时间长了，就会达到一个稳定的状态，薄膜的成分就会接近靶材成分。
引用回帖:
Originally posted by chenguang5895 at 2010-07-10 11:12:43:
我现在用磁控溅射合金，靶材是3种金属的合金。他们的成分比是一定的。
但是成膜后，薄膜的成分比和靶材的相差很大。
而且不同的power density，薄膜的成分比也不同。
这是为什么啊？我虽然知道原因，不过好像不 ...

[ Last edited by cjw796 on 2010-7-12 at 15:55 ]
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2010-07-12 15:37:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

thunder2009

木虫 (知名作家)

过河的卒子
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
关注一下
回复此楼
在风雨中寻找方向，从绝望中提取希望！
5楼2010-07-12 15:44:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sashuiche

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by cjw796 at 2010-07-12 15:37:46:
这就是所谓的选择性溅射，每种原子的质量不一样，溅射产率不一样，但是溅射时间长了，就会达到一个稳定的状态，薄膜的成分就会接近靶材成分。


[ Last edited by cjw796 on 2010-7-12 at 15:55 ]

言之有理
回复此楼
6楼2010-07-30 11:54:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

czliou

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by cjw796 at 2010-07-12 15:37:46:
这就是所谓的选择性溅射，每种原子的质量不一样，溅射产率不一样，但是溅射时间长了，就会达到一个稳定的状态，薄膜的成分就会接近靶材成分。


[ Last edited by cjw796 on 2010-7-12 at 15:55 ]

工作气体原子对不同的成分原子的溅射产额不一样。你原来靶的成分应该叫名义组分。实际制备后测量的叫“实际组分”。
差很多，很正常，不差就是奇迹了！
赞一下(2人) 回复此楼
珍惜时间，学习！做事！助人！
7楼2010-08-02 15:56:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chenguang5895 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +16 koalala 2026-08-24 18/900 2026-08-24 15:43 by zhuzg0628
[基金申请] 估计是周四 +4 archvillain 2026-08-18 4/200 2026-08-24 13:53 by zzuzxg
[基金申请] 我面上完蛋了 +8 且听虎啸 2026-08-20 9/450 2026-08-24 13:52 by zzuzxg
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +17 羊腰板 2026-08-21 18/900 2026-08-24 12:03 by iaeyuan
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +6 炎黄贵胄 2026-08-22 7/350 2026-08-24 11:58 by 6543yes
[基金申请] 朋友圈看到的 +7 wangzilk 2026-08-18 9/450 2026-08-24 10:50 by cmrandy
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[基金申请] 明天应该可查了！？ +4 chengyan1220 2026-08-23 4/200 2026-08-24 08:47 by gloomy6159
[基金申请] 什么时候开奖？ +10 CrisMessi 2026-08-18 11/550 2026-08-24 06:50 by 开心的小狮子
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 今天放榜吗？ +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭