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ioqq

新虫 (正式写手)


[交流] 【求助】硅片刻蚀100-200微米已有9人参与

请问哪边可以加工硅片啊?
要求:在一张硅片上做些图案:立方体,三角形,圆形的一些凹槽!
边长/直径约100微米,深度50微米左右的!


请大家顶一顶啊!

谢谢!!!
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ioqq

新虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by zxh315315 at 2010-05-26 16:18:12:
苏州那边中科院纳米所可以的

谢谢你及以上几位热心朋友!
6楼2010-06-07 10:00:20
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wooden5791

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
也在寻找答案,哪位行家可以提供些信息啊?谢谢!
2楼2010-03-06 09:43:14
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zeusshang

金虫 (小有名气)

如果对图形形状要求不是很高的话,自己搞点腐蚀液搞一下就行。要求高的话找有RIE ICP的地方,通常微电子研究机构会有。北京的话北大微电子所不错。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

微纳加工
4楼2010-03-08 16:48:11
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zxh315315

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
苏州那边中科院纳米所可以的
5楼2010-05-26 16:18:12
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