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yanlg04

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问光刻掩模板一般多厚?做一个微米级的多少钱啊? 已有6人参与

各位
请问光刻的光学掩模板一般多厚?做一个微米级的条状图形的掩模板大概多少钱啊?现在条状图形的光学掩模板条纹间距最小是多少啊?
谢谢
(回答一个问题,本人将奉上一枚金币)

[ Last edited by yanlg04 on 2009-8-12 at 10:41 ]
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gamewang

木虫 (著名写手)

现在都是nm级的楼
微信公众号:zajiadabing
5楼2010-07-08 09:09:15
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zeusshang

金虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
yanlg04(金币+3,VIP+0): 8-12 21:06
yanlg04(金币+7,VIP+0): 8-21 11:36
各位
请问光刻的光学掩模板一般多厚?
不同的尺寸,版材厚度不一样,一般都在几个mm左右(<5),具体的要问一下做版的单位;

做一个微米级的条状图形的掩模板大概多少钱啊?
做版的价格取决于图形的最小尺寸和图形的复杂程度,当然版的大小也有关系;一般几百到一两千,这个也得问做版的地方,不同的地方价格也会有较大的差距。

现在条状图形的光学掩模板条纹间距最小是多少啊?
0.5微米左右吧,不过那样价格会比较贵;


谢谢
微纳加工
2楼2009-08-12 15:35:43
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gamewang

木虫 (著名写手)

这个问题 我也在思考 帮你顶下
微信公众号:zajiadabing
3楼2010-07-06 09:33:49
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elionix


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
出的起钱,10纳米都没问题。
4楼2010-07-06 11:43:35
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