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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问光刻掩模板一般多厚？做一个微米级的多少钱啊？
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yanlg04

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问光刻掩模板一般多厚？做一个微米级的多少钱啊？ 已有6人参与

各位
请问光刻的光学掩模板一般多厚？做一个微米级的条状图形的掩模板大概多少钱啊？现在条状图形的光学掩模板条纹间距最小是多少啊？
谢谢
（回答一个问题，本人将奉上一枚金币）

[ Last edited by yanlg04 on 2009-8-12 at 10:41 ]
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1楼 2009-08-12 10:34:02
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zeusshang

金虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
yanlg04(金币+3,VIP+0): 8-12 21:06
yanlg04(金币+7,VIP+0): 8-21 11:36
各位
请问光刻的光学掩模板一般多厚？
不同的尺寸，版材厚度不一样，一般都在几个mm左右（<5），具体的要问一下做版的单位；

做一个微米级的条状图形的掩模板大概多少钱啊？
做版的价格取决于图形的最小尺寸和图形的复杂程度，当然版的大小也有关系；一般几百到一两千，这个也得问做版的地方，不同的地方价格也会有较大的差距。

现在条状图形的光学掩模板条纹间距最小是多少啊？
0.5微米左右吧，不过那样价格会比较贵；


谢谢
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微纳加工
2楼2009-08-12 15:35:43
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gamewang

木虫 (著名写手)
这个问题 我也在思考 帮你顶下
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微信公众号：zajiadabing
3楼2010-07-06 09:33:49
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elionix

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
出的起钱，10纳米都没问题。
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4楼2010-07-06 11:43:35
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gamewang

木虫 (著名写手)
现在都是nm级的楼
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微信公众号：zajiadabing
5楼2010-07-08 09:09:15
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jabbawocky

铁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by elionix at 2010-07-06 11:43:35:
出的起钱，10纳米都没问题。

对于搞科研的学生来说，一般都出不起10nm的钱。。。。
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6楼2010-07-17 00:16:42
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雪狐夜吟

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我做过的 掩膜 厚度是0.5mm左右，最小间距是20um，价格在100块
最小间距越小越贵 希望对你有用
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7楼2014-12-23 15:21:14
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chenfan2316

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主有需要做光刻掩模板的可以找我，QQ258060767
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13959586718陈先生
8楼2016-03-10 09:35:24
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763113

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
顶顶，我最近也正好要做个掩模版，不知道哪里比较好
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9楼2016-03-13 21:39:54
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