应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁性镍靶材镀膜问题
131/2返回列表12下一页
查看: 2844  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者侩勒峰南将赠送您 10 个金币

侩勒峰南

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁性镍靶材镀膜问题 已有3人参与

我们实验室最近使用了镍靶材进行多靶磁控溅射镀膜，但是镀膜结果很不理想，想问下大家这个问题怎么解决。

我们的靶材是在一个5mm厚的铜背板上加了一个1.5mm厚的镍靶，工作的时候使用直流电源300W，但是起辉的压强特别高，需要到50Pa以上才能起辉，并且工作时实际功率很不稳定，一直在100W上下跳动，一会儿高一会儿低，辉光也是不稳。。

我怀疑有几个原因：
1.腔室真空度不够。我们设备最近橡胶密封圈貌似有点问题，最高真空只能抽到1.5E-3左右

2.工作压强到70Pa左右时实际功率能稳定下来，但是压强太高镀膜的效果也会下降。。

麻烦有经验的小伙伴分析下这个问题，谢谢大家~~！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-04-11 19:06:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

bobo201266

金虫 (正式写手)
腔体漏率确实大了，腔体清理下。防止局部位置短路

发自小木虫Android客户端
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2021-04-14 22:01:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2021-04-15 22:20:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvyiyilv

木虫 (职业作家)
1.5E-3太差了，还是先修设备吧

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2021-04-16 05:45:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

侩勒峰南

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2021-04-14 22:01:24
腔体漏率确实大了，腔体清理下。防止局部位置短路

好的，谢谢您的提议。。我们昨天也清理了一下腔体，今天还在抽，效果比之前要好一点，但是还是没有达到刚换上这个设备时的抽真空速度，怀疑还是有其他地方有漏气，这两天再仔细看下
赞一下 回复此楼
5楼2021-04-16 13:46:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

侩勒峰南

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lvyiyilv at 2021-04-16 05:45:05
1.5E-3太差了，还是先修设备吧

谢谢您的建议！我们镀其他靶材的时候效果其实还行，比如钛靶材、银靶材之类的，都能起辉并且工作压强也能降下去，唯独这个镍靶特别难镀。。。看看真空度维护一下能不能改善下镍
赞一下 回复此楼
6楼2021-04-16 13:49:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xingxingac

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

镍靶本来就难镀，镀镍的靶和别的靶磁场都不一样，你要经常镀镍应该买个专用的靶
赞一下 回复此楼
7楼2021-04-20 11:00:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chaoweihit

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

溅射镍需要强磁靶枪
一般的靶枪不容易起灰
另外，没有铜背托，效果会更好一些
设备不行，不建议强行实验，外加工单位很多
赞一下 回复此楼
8楼2021-05-19 22:05:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

梦の国度

捐助贵宾 (文学泰斗)
真可爱
回复此楼
9楼2021-05-21 16:51:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

perry_ping

新虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

来我这镀吧，真空1.5e-7，做了很多镀镍的
赞一下 回复此楼
10楼2021-05-25 08:38:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 侩勒峰南 的主题更新
131/2返回列表12下一页
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化工284求调剂 +10 小黑想变白 2026-03-07 10/500 2026-03-10 06:46 by laoshidan
[考研] 295复试调剂 +4 简木ChuFront 2026-03-09 4/200 2026-03-09 21:49 by wangjihu
[考研] 085600材料与化工，一志愿广州985，求调剂 +14 qqyyaill 2026-03-05 14/700 2026-03-09 20:16 by 雾散后相遇lc
[考博] 2026博士申请 +5 起泡酒 2026-03-08 5/250 2026-03-09 20:09 by 风傲孤星
[考研] 296求调剂 +4 Xinyu Wu311 2026-03-09 4/200 2026-03-09 11:51 by 勇敢太监王公公
[考研] 材料与化工，291分，求调剂 +13 咕噜咕噜123123 2026-03-04 15/750 2026-03-09 09:32 by 30660438
[考研] 297求调剂 +3 胡达灵 2026-03-05 5/250 2026-03-08 23:13 by 清风月
[考研] 0703化学求调剂学校 +3 一志愿京区211 2026-03-04 3/150 2026-03-07 21:35 by yinhuanshun
[考研] 一志愿武汉理工085601，初试301分，请问能调剂到湖北吗 +3 肖yang 2026-03-06 3/150 2026-03-07 19:08 by ms629
[考研] 诚求调剂，323分 有专利/科研/实习经历 +6 橙子cyx 2026-03-06 8/400 2026-03-07 19:06 by 新篇章DFSS
[考研] 物理学求调剂 +3 sx宋 2026-03-05 3/150 2026-03-07 14:38 by lishahe
[考研] 哈尔滨理工大学2026年研究生调剂，材料科学与化学工程学院研究生调剂 +3 xinliu866 2026-03-06 3/150 2026-03-06 19:42 by 祁东原神
[考研] 材料工程调剂 +6 zbcm_zbcm 2026-03-05 6/300 2026-03-06 15:36 by @飒飒飒飒
[考研] 0856材料与化工求调剂！ +5 化工考生111 2026-03-04 11/550 2026-03-06 01:20 by 化工考生111
[考研] 334求调剂 +6 Trying] 2026-03-05 8/400 2026-03-06 00:16 by wutongshun
[考研] 材料调剂 +4 L9370 2026-03-05 4/200 2026-03-05 19:36 by caszguilin
[论文投稿] 主编终审卡者不动 100+4 Stray2021 2026-03-03 4/200 2026-03-05 08:04 by bdhaoxiang
[考研] 0857求调剂 +4 CDDD1013 2026-03-04 4/200 2026-03-04 16:08 by zhukairuo
[考研] 325求调剂 +5 学家科 2026-03-04 5/250 2026-03-04 14:04 by kakakapanpan
[考研] 0703化学306调剂 +4 26要上岸 2026-03-03 4/200 2026-03-03 20:08 by yoyohj0427
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭