应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁性镍靶材镀膜问题
51/1返回列表
查看: 2865  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者侩勒峰南将赠送您 10 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

侩勒峰南

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁性镍靶材镀膜问题 已有3人参与

我们实验室最近使用了镍靶材进行多靶磁控溅射镀膜，但是镀膜结果很不理想，想问下大家这个问题怎么解决。

我们的靶材是在一个5mm厚的铜背板上加了一个1.5mm厚的镍靶，工作的时候使用直流电源300W，但是起辉的压强特别高，需要到50Pa以上才能起辉，并且工作时实际功率很不稳定，一直在100W上下跳动，一会儿高一会儿低，辉光也是不稳。。

我怀疑有几个原因：
1.腔室真空度不够。我们设备最近橡胶密封圈貌似有点问题，最高真空只能抽到1.5E-3左右

2.工作压强到70Pa左右时实际功率能稳定下来，但是压强太高镀膜的效果也会下降。。

麻烦有经验的小伙伴分析下这个问题，谢谢大家~~！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-04-11 19:06:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

侩勒峰南

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lvyiyilv at 2021-04-16 05:45:05
1.5E-3太差了，还是先修设备吧

谢谢您的建议！我们镀其他靶材的时候效果其实还行，比如钛靶材、银靶材之类的，都能起辉并且工作压强也能降下去，唯独这个镍靶特别难镀。。。看看真空度维护一下能不能改善下镍
赞一下 回复此楼
6楼2021-04-16 13:49:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

bobo201266

金虫 (正式写手)
腔体漏率确实大了，腔体清理下。防止局部位置短路

发自小木虫Android客户端
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2021-04-14 22:01:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2021-04-15 22:20:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvyiyilv

木虫 (职业作家)
1.5E-3太差了，还是先修设备吧

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2021-04-16 05:45:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 268求调剂 +4 好运连绵不绝 2026-03-12 4/200 2026-03-13 10:45 by hyswxzs
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +3 d如愿上岸 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:43 by houyaoxu
[考研] b区环境工程求调剂 +3 Maps1 2026-03-10 5/250 2026-03-13 10:28 by Yuyi.
[考研] 085600材料与化工 309分请求调剂 +5 dtdxzxx 2026-03-12 6/300 2026-03-13 10:09 by houyaoxu
[考研] 材料工程085601调剂求老师收留 +11 强木木木 2026-03-07 13/650 2026-03-13 08:53 by Linda Hu
[考研] 302求调剂 +5 负心者当诛 2026-03-11 5/250 2026-03-13 08:19 by 一直走不要停
[考研] 420求调剂 +4 莫向外求11 2026-03-10 6/300 2026-03-12 14:41 by ruiyingmiao
[考研] 0856材料与化工309分求调剂 +5 ZyZy…… 2026-03-10 5/250 2026-03-12 11:31 by 2020015
[考研] 材料工程,326分，求调剂 +5 KRSLSR 2026-03-10 5/250 2026-03-11 21:07 by kiokin
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-11 4/200 2026-03-11 20:01 by 清风月
[考研] 求调剂 +4 鹤遨予卿 2026-03-09 4/200 2026-03-11 10:47 by @飒飒飒飒
[考研] 材料工程专硕，一志愿中国矿业大学，总分314，求调剂 +4 无懈可击的巨人 2026-03-10 4/200 2026-03-10 22:45 by 星空星月
[考研] 306求调剂 +3 唐薏薏 2026-03-09 3/150 2026-03-10 22:30 by peike
[考研] 0856材料与化工353分求调剂 +11 NIFFFfff 2026-03-09 11/550 2026-03-10 18:36 by suyuanhai
[考研] 328，0703考生求调剂，一志愿为东北师范大学 +3 观素律 2026-03-09 4/200 2026-03-10 15:58 by houyaoxu
[考博] 求材料读博院校 +9 yanglei131 2026-03-08 9/450 2026-03-10 11:54 by 天道酬勤2026686
[教师之家] 交大前校长王树国：现在最先进的科技并不在大学实验室，而是在企业研究院 +4 zju2000 2026-03-08 6/300 2026-03-08 19:15 by zju2000
[考研] 085701环境工程317分求调剂 +9 6汆尼9 2026-03-07 9/450 2026-03-08 06:41 by 刘兵
[考研] 346分材料求调剂 +5 snow_反季节版 2026-03-07 5/250 2026-03-07 22:40 by Leeding1356
[考研] 085600材料与化工 292分 求调剂 +6 程晴之 2026-03-06 6/300 2026-03-07 09:22 by 斩魂滴兔子！
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭