| 查看: 2574 | 回复: 12 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者侩勒峰南将赠送您 10 个金币 | ||
[求助]
磁性镍靶材镀膜问题已有3人参与
|
||
 我们实验室最近使用了镍靶材进行多靶磁控溅射镀膜，但是镀膜结果很不理想，想问下大家这个问题怎么解决。我们的靶材是在一个5mm厚的铜背板上加了一个1.5mm厚的镍靶，工作的时候使用直流电源300W，但是起辉的压强特别高，需要到50Pa以上才能起辉，并且工作时实际功率很不稳定，一直在100W上下跳动，一会儿高一会儿低，辉光也是不稳。。 我怀疑有几个原因： 1.腔室真空度不够。我们设备最近橡胶密封圈貌似有点问题，最高真空只能抽到1.5E-3左右 2.工作压强到70Pa左右时实际功率能稳定下来，但是压强太高镀膜的效果也会下降。。 麻烦有经验的小伙伴分析下这个问题，谢谢大家~~！ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有132人回复
bobo201266
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1550.9
- 散金: 100
- 红花: 3
- 帖子: 418
- 在线: 20.9小时
- 虫号: 15108252
- 注册: 2019-05-16
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2021-04-14 22:01:24
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2021-04-15 22:20:14
4楼2021-04-16 05:45:05
5楼2021-04-16 13:46:42
6楼2021-04-16 13:49:37
xingxingac
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1032.3
- 帖子: 62
- 在线: 115.5小时
- 虫号: 436958
- 注册: 2007-08-26
- 专业: 金属材料表面科学与工程
7楼2021-04-20 11:00:35
chaoweihit
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 141.3
- 散金: 38
- 帖子: 38
- 在线: 18.2小时
- 虫号: 1846552
- 注册: 2012-06-04
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
8楼2021-05-19 22:05:21
梦の国度
捐助贵宾 (文学泰斗)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3321.1
- 散金: 177
- 红花: 2
- 帖子: 67308
- 在线: 168.2小时
- 虫号: 977074
- 注册: 2010-03-20
- 性别: GG
- 专业: 数论
9楼2021-05-21 16:51:07
perry_ping 
新虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 16499.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 2926
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
10楼2021-05-25 08:38:26