应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁性镍靶材镀膜问题
51/1返回列表
查看: 2805  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者侩勒峰南将赠送您 10 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

侩勒峰南

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁性镍靶材镀膜问题 已有3人参与

我们实验室最近使用了镍靶材进行多靶磁控溅射镀膜，但是镀膜结果很不理想，想问下大家这个问题怎么解决。

我们的靶材是在一个5mm厚的铜背板上加了一个1.5mm厚的镍靶，工作的时候使用直流电源300W，但是起辉的压强特别高，需要到50Pa以上才能起辉，并且工作时实际功率很不稳定，一直在100W上下跳动，一会儿高一会儿低，辉光也是不稳。。

我怀疑有几个原因：
1.腔室真空度不够。我们设备最近橡胶密封圈貌似有点问题，最高真空只能抽到1.5E-3左右

2.工作压强到70Pa左右时实际功率能稳定下来，但是压强太高镀膜的效果也会下降。。

麻烦有经验的小伙伴分析下这个问题，谢谢大家~~！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-04-11 19:06:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

侩勒峰南

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2021-04-14 22:01:24
腔体漏率确实大了，腔体清理下。防止局部位置短路

好的，谢谢您的提议。。我们昨天也清理了一下腔体，今天还在抽，效果比之前要好一点，但是还是没有达到刚换上这个设备时的抽真空速度，怀疑还是有其他地方有漏气，这两天再仔细看下
赞一下 回复此楼
5楼2021-04-16 13:46:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

bobo201266

金虫 (正式写手)
腔体漏率确实大了，腔体清理下。防止局部位置短路

发自小木虫Android客户端
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2021-04-14 22:01:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2021-04-15 22:20:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvyiyilv

木虫 (职业作家)
1.5E-3太差了，还是先修设备吧

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2021-04-16 05:45:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 316求调剂 +3 林小星发大财 2026-03-05 5/250 2026-03-06 09:05 by Iveryant
[考研] A区一本交叉课题组，低分调剂，招收机械电子信息通信等交叉方向 +23 lisimayy 2026-03-04 31/1550 2026-03-06 00:44 by Zerozero0
[考研] 274求调剂 +9 一个学习者 2026-03-04 9/450 2026-03-05 20:56 by 黑衣馒头人
[考研] 化工282求调剂一志愿211 +5 NA0912 2026-03-05 6/300 2026-03-05 20:10 by 2735147993
[考研] 313求调剂 +3 水流年lc 2026-02-28 4/200 2026-03-05 14:58 by 水流年lc
[考研] 264求调剂 +8 26调剂 2026-03-03 8/400 2026-03-04 20:50 by 一切OK
[考研] 0703化学求调剂，总分320分，一志愿中南民族大学 +3 19286712440 2026-03-04 3/150 2026-03-04 18:30 by houyaoxu
[考研] 0855机械工程324求调剂 +3 郑SK 2026-03-02 7/350 2026-03-04 17:24 by congmingdou
[考研] 本科太原理工采矿工程，求调剂 +3 onlx 2026-03-01 3/150 2026-03-04 15:57 by Stephen_ym
[考研] 一志愿西工大材料学，英一数二总分321分，求调剂。 +3 zz05zz 2026-03-02 5/250 2026-03-04 09:16 by lbsjt
[考研] 0703 总分319求调剂 +4 Xinyuu 2026-03-02 4/200 2026-03-03 22:58 by 让我们一起快乐
[基金申请] 请问大家，研究风险与应对措施那里， 大家都怎么写呢 ？ +3 cauasen 2026-03-02 3/150 2026-03-03 19:43 by Tide man
[考研] 085700资环求调剂，初始279，六级已过，英语能力强 +3 085700资环调剂 2026-03-03 4/200 2026-03-03 19:10 by lature00
[考研] 292求调剂 +3 sgbl 2026-03-03 3/150 2026-03-03 17:30 by barlinike
[考研] 299求调剂 +5 kkcoco25 2026-03-02 9/450 2026-03-03 12:55 by 公瑾逍遥
[考研] 材料085601调剂 +5 多多子. 2026-03-02 5/250 2026-03-02 19:15 by zhukairuo
[考研] 284求调剂 +10 天下熯 2026-02-28 11/550 2026-03-02 11:03 by 无际的草原
[考研] 材料调剂 +6 爱擦汗的可乐冰 2026-02-28 7/350 2026-03-02 10:42 by Jy?
[考研] 279求调剂 +3 dua1 2026-03-01 4/200 2026-03-02 00:23 by 大脸蛋子
[基金申请] 成果系统访问量大，请一小时后再尝试。---NSFC啥时候好哦，已经两天这样了 +4 NSFC2026我来了 2026-02-28 4/200 2026-03-01 22:37 by 铁门栓
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭