| 查看: 2786 | 回复: 12 | |||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者侩勒峰南将赠送您 10 个金币 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
磁性镍靶材镀膜问题 已有3人参与
|
|||
 我们实验室最近使用了镍靶材进行多靶磁控溅射镀膜，但是镀膜结果很不理想，想问下大家这个问题怎么解决。我们的靶材是在一个5mm厚的铜背板上加了一个1.5mm厚的镍靶，工作的时候使用直流电源300W，但是起辉的压强特别高，需要到50Pa以上才能起辉，并且工作时实际功率很不稳定，一直在100W上下跳动，一会儿高一会儿低，辉光也是不稳。。 我怀疑有几个原因： 1.腔室真空度不够。我们设备最近橡胶密封圈貌似有点问题，最高真空只能抽到1.5E-3左右 2.工作压强到70Pa左右时实际功率能稳定下来，但是压强太高镀膜的效果也会下降。。 麻烦有经验的小伙伴分析下这个问题，谢谢大家~~！ |
回复此楼» 猜你喜欢
XPS/?λXPS
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学化学博士招生
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有80人回复
-
招收2026年入学博士研究生
已经有10人回复
-
0856材料306分调剂
已经有2人回复
-
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有13人回复
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2021-04-15 22:20:14
bobo201266
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1550.9
- 散金: 100
- 红花: 3
- 帖子: 418
- 在线: 20.9小时
- 虫号: 15108252
- 注册: 2019-05-16
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2021-04-14 22:01:24
4楼2021-04-16 05:45:05
5楼2021-04-16 13:46:42
100