| 查看: 2915 | 回复: 12 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者侩勒峰南将赠送您 10 个金币 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
磁性镍靶材镀膜问题 已有3人参与
|
||
 我们实验室最近使用了镍靶材进行多靶磁控溅射镀膜，但是镀膜结果很不理想，想问下大家这个问题怎么解决。我们的靶材是在一个5mm厚的铜背板上加了一个1.5mm厚的镍靶，工作的时候使用直流电源300W，但是起辉的压强特别高，需要到50Pa以上才能起辉，并且工作时实际功率很不稳定，一直在100W上下跳动，一会儿高一会儿低，辉光也是不稳。。 我怀疑有几个原因： 1.腔室真空度不够。我们设备最近橡胶密封圈貌似有点问题，最高真空只能抽到1.5E-3左右 2.工作压强到70Pa左右时实际功率能稳定下来，但是压强太高镀膜的效果也会下降。。 麻烦有经验的小伙伴分析下这个问题，谢谢大家~~！ |
回复此楼» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有234人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
chaoweihit
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 141.3
- 散金: 38
- 帖子: 38
- 在线: 18.2小时
- 虫号: 1846552
- 注册: 2012-06-04
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
8楼2021-05-19 22:05:21
bobo201266
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1550.9
- 散金: 100
- 红花: 3
- 帖子: 418
- 在线: 20.9小时
- 虫号: 15108252
- 注册: 2019-05-16
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2021-04-14 22:01:24
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2021-04-15 22:20:14
4楼2021-04-16 05:45:05
