| 查看: 2129 | 回复: 10 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者敖小归将赠送您 10 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射TiN沉积失败 已有2人参与
|
||
|
用的TiN靶，射频磁控溅射，纯氩气，压强在3—4Pa，功率从50—100W都有尝试。能起辉，辉光紫红色，但是总是沉积不上，硅片上无任何东西，样品托盘也无变化。溅射后靶材略有发黑。有时候功率高了靶材会发烫。请各位大佬指点一下，可能有哪些因素在影响？应该怎么调参数才合适？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
分子动力学模拟
已经有0人回复
-
材料模拟计算
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有73人回复
-
上海大学生物有机电子材料及器件团队博士研究生招聘
已经有17人回复
-
成果系统访问量大，请15分钟后再尝试。由此给您造成的不便，敬请谅解。
已经有19人回复
-
材料模拟计算
已经有0人回复
-
博士招生 | 青岛科技大学（高分子、化学、材料、力学、机电工程、计算机仿真）
已经有12人回复
2楼2021-03-05 00:13:29
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2021-03-05 08:40:17
4楼2021-03-05 09:30:17
5楼2021-03-05 09:30:53
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2021-03-05 22:18:16
7楼2021-03-08 10:52:12
|
本帖内容被屏蔽 |
8楼2021-04-15 22:35:50
caojingpie
木虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2302.9
- 散金: 15
- 帖子: 173
- 在线: 55.8小时
- 虫号: 4213592
- 注册: 2015-11-12
- 性别: GG
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
9楼2021-04-20 14:10:30
xingxingac
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1032.3
- 帖子: 62
- 在线: 115.5小时
- 虫号: 436958
- 注册: 2007-08-26
- 专业: 金属材料表面科学与工程
10楼2021-04-20 15:14:14
