| 查看: 2066 | 回复: 10 | |||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者敖小归将赠送您 10 个金币 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
磁控溅射TiN沉积失败 已有2人参与
|
|||
|
用的TiN靶，射频磁控溅射，纯氩气，压强在3—4Pa，功率从50—100W都有尝试。能起辉，辉光紫红色，但是总是沉积不上，硅片上无任何东西，样品托盘也无变化。溅射后靶材略有发黑。有时候功率高了靶材会发烫。请各位大佬指点一下，可能有哪些因素在影响？应该怎么调参数才合适？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
有化工工程中工吗，咨询问题
已经有0人回复
-
求助，请问有没有环境、环保中级工程师呀，咨询问题
已经有0人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有102人回复
-
西南交通大学国家级人才团队2026年博士研究生招生（考核制）—机械、材料、力学方向
已经有3人回复
-
有没有做非煤矿山相关工作，考安管证的呀
已经有1人回复
-
北京理工大学（珠海）诚邀全球英才依托申报2026年优青（海外）项目！
已经有0人回复
-
英国国王大学院士团队诚招两名材料方面的博士后
已经有1人回复
-
有工程师吗，找环境工程师
已经有0人回复
-
求材料
已经有2人回复
-
304分材料专硕求调剂
已经有10人回复
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2021-03-05 22:18:16
2楼2021-03-05 00:13:29
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2021-03-05 08:40:17
4楼2021-03-05 09:30:17
100