| 查看: 2676 | 回复: 10 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者敖小归将赠送您 10 个金币 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
磁控溅射TiN沉积失败 已有2人参与
|
||
|
用的TiN靶，射频磁控溅射，纯氩气，压强在3—4Pa，功率从50—100W都有尝试。能起辉，辉光紫红色，但是总是沉积不上，硅片上无任何东西，样品托盘也无变化。溅射后靶材略有发黑。有时候功率高了靶材会发烫。请各位大佬指点一下，可能有哪些因素在影响？应该怎么调参数才合适？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
今年没中，请各位大神帮我看一下，评审结果，大概几个ABC。
已经有17人回复
-
面上函评意见出来了，像什么等级？
已经有19人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有161人回复
-
利用三维重构法对铁素体/马氏体双相钢内部微观结构的拓扑研究
已经有0人回复
-
高温原位观察多边形铁素体的相变
已经有0人回复
-
铝含量对铁素体耐热不锈钢在凝固过程中δ→γ 相变及M23C6相析出行为的影响
已经有0人回复
-
利用全自动逐层切片成像系统对铝镧合金进行分析
已经有0人回复
-
西工大张震教授能源电催化团队招收2027级材料/化学/化工推免硕士研究生及博士研究生
已经有2人回复
-
西工大张震教授能源电催化团队招收2027级材料/化学/化工推免硕士研究生及博士研究生
已经有0人回复
-
高温原位观察高温合金的凝固枝晶生长过程
已经有0人回复
5楼2021-03-05 09:30:53
2楼2021-03-05 00:13:29
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2021-03-05 08:40:17
4楼2021-03-05 09:30:17