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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射法制备ZnO薄膜的过程中通入氢气有哪些需要注意的？
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liqianliwi

木虫 (职业作家)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-03-19 11:38:17
另，磁控溅射镀到微米级别，那需要很长很长时间，不是很好的选择。...

嗯 确实需要很长时间  我有时候需要镀膜10个小时。
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我不懂什么叫坚持，全靠死撑！
11楼2018-03-19 12:45:17
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by liqianliwi at 2018-03-19 05:44:19
说的很好  赞一个...

谢谢老板打赏
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
12楼2018-03-19 13:10:09
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chichister

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by liqianliwi at 2018-03-18 08:54:35
ZnO中掺杂H可以改变其发光性能
...

能给给参考文献吗，谢谢。另外我想问下你用的是什么靶材
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似水流年等闲过...
13楼2019-06-17 13:26:06
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liqianliwi

木虫 (职业作家)
引用回帖:
13楼: Originally posted by chichister at 2019-06-17 13:26:06
能给给参考文献吗，谢谢。另外我想问下你用的是什么靶材...

氢掺杂增强发光的文献如下：
1.Large enhancement of X-ray excited luminescence in Ga-doped ZnO nanorod arrays by hydrogen annealing, Applied Surface Science, 2018, 433:815-820.
2.Enhanced X-ray excited luminescence of Ga- and In-doped ZnO nanorods by hydrogen annealing, Materials Research Bulletin, 2017, 86:173-177.

锌靶和氧化锌靶我都用过。
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我不懂什么叫坚持，全靠死撑！
14楼2019-06-17 14:05:55
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