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liqianliwi

木虫 (职业作家)

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[求助] 磁控溅射法制备ZnO薄膜的过程中通入氢气有哪些需要注意的？已有1人参与

如题：利用磁控溅射法制备ZnO薄膜，靶材是ZnO靶，基底温度在300~500度，通入两路气体：一路高纯氩，一路氢氩混合气（氢气10%）。

类似的薄膜制备实验有虫友做过吗，主要是在磁控溅射镀膜中引入氢气？

整个镀膜过程有哪些需要注意的？

怎样提高安全性？

金币很多，请踊跃解答，谢谢！！！

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薄膜制备与特性

磁控溅射镀膜工艺

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我不懂什么叫坚持，全靠死撑！

1楼2018-03-17 21:38:12

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liqianliwi

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引用回帖:

8楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-03-19 11:36:42
利用磁控溅射法通，氢氩混合气（氢气10%）。
安全性方面：
1. 真空腔内，由于工艺过程中气压也就在mTorr范围内，气压很低，不存在特别的安全隐患
2. 真空腔外，由于氢气无色无味，不容易察觉。气瓶、通气管路要保 ...

说的很好赞一个

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