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liqianliwi木虫 (职业作家)
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磁控溅射法制备ZnO薄膜的过程中通入氢气有哪些需要注意的？已有1人参与
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如题：利用磁控溅射法制备ZnO薄膜，靶材是ZnO靶，基底温度在300~500度，通入两路气体：一路高纯氩，一路氢氩混合气（氢气10%）。 类似的薄膜制备实验有虫友做过吗，主要是在磁控溅射镀膜中引入氢气？ 整个镀膜过程有哪些需要注意的？ 怎样提高安全性？ 金币很多，请踊跃解答，谢谢！！！  |
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 薄膜制备与特性 | 磁控溅射镀膜工艺 |
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氢掺杂增强发光的文献如下： 1.Large enhancement of X-ray excited luminescence in Ga-doped ZnO nanorod arrays by hydrogen annealing, Applied Surface Science, 2018, 433:815-820. 2.Enhanced X-ray excited luminescence of Ga- and In-doped ZnO nanorods by hydrogen annealing, Materials Research Bulletin, 2017, 86:173-177. 锌靶和氧化锌靶我都用过。 |
14楼2019-06-17 14:05:55