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liqianliwi

木虫 (职业作家)

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[求助] 磁控溅射法制备ZnO薄膜的过程中通入氢气有哪些需要注意的？已有1人参与

如题：利用磁控溅射法制备ZnO薄膜，靶材是ZnO靶，基底温度在300~500度，通入两路气体：一路高纯氩，一路氢氩混合气（氢气10%）。

类似的薄膜制备实验有虫友做过吗，主要是在磁控溅射镀膜中引入氢气？

整个镀膜过程有哪些需要注意的？

怎样提高安全性？

金币很多，请踊跃解答，谢谢！！！

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我不懂什么叫坚持，全靠死撑！

1楼 2018-03-17 21:38:12

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liqianliwi

木虫 (职业作家)

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引用回帖:

13楼: Originally posted by chichister at 2019-06-17 13:26:06
能给给参考文献吗，谢谢。另外我想问下你用的是什么靶材...

氢掺杂增强发光的文献如下：
1.Large enhancement of X-ray excited luminescence in Ga-doped ZnO nanorod arrays by hydrogen annealing, Applied Surface Science, 2018, 433:815-820.
2.Enhanced X-ray excited luminescence of Ga- and In-doped ZnO nanorods by hydrogen annealing, Materials Research Bulletin, 2017, 86:173-177.

锌靶和氧化锌靶我都用过。