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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射法制备ZnO薄膜的过程中通入氢气有哪些需要注意的？
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liqianliwi

木虫 (职业作家)

[求助] 磁控溅射法制备ZnO薄膜的过程中通入氢气有哪些需要注意的？ 已有1人参与

如题：利用磁控溅射法制备ZnO薄膜，靶材是ZnO靶，基底温度在300~500度，通入两路气体：一路高纯氩，一路氢氩混合气（氢气10%）。

类似的薄膜制备实验有虫友做过吗，主要是在磁控溅射镀膜中引入氢气？

整个镀膜过程有哪些需要注意的？

怎样提高安全性？

金币很多，请踊跃解答，谢谢！！！
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薄膜制备与特性 磁控溅射镀膜工艺

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我不懂什么叫坚持，全靠死撑！
1楼 2018-03-17 21:38:12
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liqianliwi: 金币+50, ★★★★★最佳答案 2018-03-19 12:44:32
利用磁控溅射法通，氢氩混合气（氢气10%）。
安全性方面：
1. 真空腔内，由于工艺过程中气压也就在mTorr范围内，气压很低，不存在特别的安全隐患
2. 真空腔外，由于氢气无色无味，不容易察觉。气瓶、通气管路要保证密封（检漏）；排气口附近通风一定要好或将废气引出实验室外，另附近也不要有明火明电的暴露

工艺方面：
1. 镀膜前、后都尽量将真空度抽的低一点
一方面排除氧的影响，另一方面现有的真空抽气系统对氢气小分子都比较头疼，抽气速率相对慢很多。
2. 工艺过程中，由于H2的抽速降低，可能腔体内氢气会堆积。多关注气压和通气量的变化（看你气压控制是upstream还是downstream模式），来控制工艺的一致性。

以上，请参考。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
8楼2018-03-19 11:36:42
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ytusnow

新虫 (小有名气)
为什么要通H2

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2楼2018-03-18 08:50:00
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liqianliwi

木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ytusnow at 2018-03-18 08:50:00
为什么要通H2

ZnO中掺杂H可以改变其发光性能

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3楼2018-03-18 08:54:35
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stage辉辉

新虫 (正式写手)
我有知道用mocvd生长zno薄膜。没用磁控溅射整过。你溅射多厚？

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4楼2018-03-18 10:17:47
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liqianliwi

木虫 (职业作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by stage辉辉 at 2018-03-18 10:17:47
我有知道用mocvd生长zno薄膜。没用磁控溅射整过。你溅射多厚？

厚度在5 ~ 10 微米之间
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5楼2018-03-18 10:36:34
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stage辉辉

新虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by liqianliwi at 2018-03-18 10:36:34
厚度在5 ~ 10 微米之间...

奥。那这个用磁控溅射应该很容易。我溅射过金膜，理论上80纳米，没有成膜

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6楼2018-03-18 11:10:16
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liqianliwi

木虫 (职业作家)
引用回帖:
6楼: Originally posted by stage辉辉 at 2018-03-18 11:10:16
奥。那这个用磁控溅射应该很容易。我溅射过金膜，理论上80纳米，没有成膜
...

磁控溅射镀膜很容易的
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7楼2018-03-18 14:01:28
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by liqianliwi at 2018-03-18 03:36:34
厚度在5 ~ 10 微米之间...

另，磁控溅射镀到微米级别，那需要很长很长时间，不是很好的选择。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
9楼2018-03-19 11:38:17
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liqianliwi

木虫 (职业作家)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-03-19 11:36:42
利用磁控溅射法通，氢氩混合气（氢气10%）。
安全性方面：
1. 真空腔内，由于工艺过程中气压也就在mTorr范围内，气压很低，不存在特别的安全隐患
2. 真空腔外，由于氢气无色无味，不容易察觉。气瓶、通气管路要保 ...

说的很好  赞一个
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我不懂什么叫坚持，全靠死撑！
10楼2018-03-19 12:44:19
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