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liangjinjue

金虫 (小有名气)

[求助] 关于PVD镀膜问题 已有1人参与

本人在这做CrSiAlN四元复合薄膜,但开启了偏压后,单晶硅基体表面被刻蚀了一样,不开偏压的情况下就没有出现这样的情况,试了很多种开偏压的情况下还是 会被刻蚀。有遇到过这样的问题的大神吗?求指教
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fpei_csu

银虫 (小有名气)

把前面的刻蚀时间缩短,或者,是不是应力太大,导致涂层微脱落造成的假象,你可以用SEM观察一下表面

发自小木虫Android客户端
8楼2017-06-22 16:07:04
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很闪很闪

金虫 (小有名气)

Forwonderfultomorrow
2楼2017-06-22 15:27:37
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liangjinjue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:27:37
电弧还是溅射?

电弧的
3楼2017-06-22 15:38:58
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很闪很闪

金虫 (小有名气)

Forwonderfultomorrow
4楼2017-06-22 15:40:21
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liangjinjue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:40:21
偏压是不是太高了?

我调到很低了,但还是出现这种情况,因为前段时间修过仪器,真空度变高了,但做实验就会出现这种情况,用以前的条件下做就做不出来这种效果,求指导啊
5楼2017-06-22 15:45:43
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很闪很闪

金虫 (小有名气)

你的说的像蚀刻的表面是雾面吗?

发自小木虫Android客户端
Forwonderfultomorrow
6楼2017-06-22 15:51:58
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091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

7楼2017-06-22 16:00:27
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liangjinjue

金虫 (小有名气)

9楼2017-06-22 16:54:26
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liangjinjue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:51:58
你的说的像蚀刻的表面是雾面吗?

上传了图片,你帮忙看看
10楼2017-06-22 16:55:03
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