24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1388  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)

[求助] 关于PVD镀膜问题 已有1人参与

本人在这做CrSiAlN四元复合薄膜,但开启了偏压后,单晶硅基体表面被刻蚀了一样,不开偏压的情况下就没有出现这样的情况,试了很多种开偏压的情况下还是 会被刻蚀。有遇到过这样的问题的大神吗?求指教
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fpei_csu

银虫 (小有名气)

把前面的刻蚀时间缩短,或者,是不是应力太大,导致涂层微脱落造成的假象,你可以用SEM观察一下表面

发自小木虫Android客户端
8楼2017-06-22 16:07:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

很闪很闪

金虫 (小有名气)

Forwonderfultomorrow
2楼2017-06-22 15:27:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:27:37
电弧还是溅射?

电弧的
3楼2017-06-22 15:38:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)

Forwonderfultomorrow
4楼2017-06-22 15:40:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料工程085601,270求调剂 +26 @ASDF1234 2026-04-08 27/1350 2026-04-09 10:56 by smile-未央
[考研] 化学调剂求助 +14 LULONG1 2026-04-03 19/950 2026-04-09 10:43 by chenxi233
[考研] 307求调剂 +14 超级伊昂大王 2026-04-06 14/700 2026-04-08 07:03 by 无际的草原
[考研] 326分,一志愿沪9,求生物学调剂 +4 刘墨墨 2026-04-05 4/200 2026-04-08 06:22 by lijunpoly
[考研] 机械工程264学硕求调剂 +3 qiushangxian 2026-04-06 3/150 2026-04-08 01:53 by Linzejun
[考研] 316求调剂 +4 15318418673 2026-04-07 4/200 2026-04-07 22:12 by hemengdong
[考研] 287求调剂 +3 通信学硕081000 2026-04-03 4/200 2026-04-06 21:03 by going home
[考研] 求调剂 +4 wos666 2026-04-03 5/250 2026-04-06 15:22 by wos666
[考研] 生物学求调剂 +5 15064154688 2026-04-03 5/250 2026-04-06 11:56 by lijunpoly
[考研] 0857大类环境工程B区求调剂 +3 龚禹铭 2026-04-05 3/150 2026-04-06 10:22 by 蓝云思雨
[考研] 考研调剂 +3 mcbbc 2026-04-04 3/150 2026-04-05 10:03 by barlinike
[考研] 325求调剂 +4 春风不借意 2026-04-04 4/200 2026-04-04 22:08 by 啵啵啵0119
[考研] 283分求调剂 +7 小聂爱学习 2026-04-03 7/350 2026-04-04 21:51 by hemengdong
[考研] 316求调剂 +9 墨辰_Orion926 2026-04-04 9/450 2026-04-04 21:35 by lbsjt
[考研] 调剂 +9 19945159693 2026-04-03 10/500 2026-04-04 20:16 by dongzh2009
[考研] 一志愿沪9,求生物学调剂,326分 +6 刘墨墨 2026-04-04 6/300 2026-04-04 19:44 by 唐沐儿
[考研] 材料调剂 +11 吴棂颖! 2026-04-03 11/550 2026-04-04 09:56 by 小小树2024
[考研] 266求调剂 +8 学员97LZgn 2026-04-03 8/400 2026-04-04 09:02 by 20021109
[考研] 考研求调剂 +3 木心想继续深造 2026-04-03 3/150 2026-04-03 21:56 by 啵啵啵0119
[考研] 一志愿重庆大学085404,总分314分,求调剂 +4 zf83hn 2026-04-03 4/200 2026-04-03 21:25 by 啵啵啵0119
信息提示
请填处理意见