应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 资源共享 » 关于PVD镀膜问题
151/2返回列表12下一页
查看: 1338  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

liangjinjue

金虫 (小有名气)

[求助] 关于PVD镀膜问题 已有1人参与

本人在这做CrSiAlN四元复合薄膜，但开启了偏压后，单晶硅基体表面被刻蚀了一样，不开偏压的情况下就没有出现这样的情况，试了很多种开偏压的情况下还是 会被刻蚀。有遇到过这样的问题的大神吗？求指教
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-06-22 15:24:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

fpei_csu

银虫 (小有名气)
把前面的刻蚀时间缩短，或者，是不是应力太大，导致涂层微脱落造成的假象，你可以用SEM观察一下表面

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2017-06-22 16:07:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
电弧还是溅射？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
Forwonderfultomorrow
2楼2017-06-22 15:27:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:27:37
电弧还是溅射？

电弧的
回复此楼
3楼2017-06-22 15:38:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
偏压是不是太高了？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
Forwonderfultomorrow
4楼2017-06-22 15:40:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:40:21
偏压是不是太高了？

我调到很低了，但还是出现这种情况，因为前段时间修过仪器，真空度变高了，但做实验就会出现这种情况，用以前的条件下做就做不出来这种效果，求指导啊
赞一下 回复此楼
5楼2017-06-22 15:45:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
你的说的像蚀刻的表面是雾面吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
Forwonderfultomorrow
6楼2017-06-22 15:51:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
7楼2017-06-22 16:00:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
关于PVD镀膜问题

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2017-06-22 16:54:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:51:58
你的说的像蚀刻的表面是雾面吗？

上传了图片，你帮忙看看
赞一下 回复此楼
10楼2017-06-22 16:55:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liangjinjue 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 354求调剂 +4 Tyoumou 2026-03-18 7/350 2026-03-18 21:45 by Tyoumou
[考研] 328求调剂，英语六级551，有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-16 10/500 2026-03-18 20:41 by Wangjingyue
[考研] 一志愿天津大学化学工艺专业（081702）315分求调剂 +10 yangfz 2026-03-17 10/500 2026-03-18 20:14 by walc
[教师之家] 焦虑 +8 水冰月月野兔 2026-03-13 12/600 2026-03-18 15:27 by 咪呜喵呜
[考研] 材料与化工一志愿南昌大学327求调剂推荐 +8 Ncdx123456 2026-03-13 9/450 2026-03-18 14:40 by haxia
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-13 6/300 2026-03-18 14:14 by 脱颖而出
[考研] 302求调剂 +10 呼呼呼。。。。 2026-03-17 10/500 2026-03-18 12:45 by Linda Hu
[考研] 0854，计算机类招收调剂 +3 胡辣汤放糖 2026-03-15 6/300 2026-03-18 12:09 by 上岸上岸……..
[考研] 280求调剂 +6 咕噜晓晓 2026-03-18 7/350 2026-03-18 11:25 by 无际的草原
[考研] 0703化学求调剂 总分331 +3 ZY-05 2026-03-13 3/150 2026-03-18 10:58 by macy2011
[考研] 290求调剂 +6 孔志浩 2026-03-12 11/550 2026-03-17 14:41 by 周舟舟77
[考研] 211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自动化所实习 +6 Losir 2026-03-12 7/350 2026-03-17 12:09 by danranxie
[考研] 321求调剂 +5 大米饭！ 2026-03-15 5/250 2026-03-16 16:33 by houyaoxu
[考研] 265求调剂 +4 威化饼07 2026-03-12 4/200 2026-03-14 17:23 by userper
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家，不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 085600材料与化工 309分请求调剂 +7 dtdxzxx 2026-03-12 8/400 2026-03-13 14:43 by jxchenghu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭