应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 资源共享 » 关于PVD镀膜问题
151/2返回列表12下一页
查看: 1395  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

liangjinjue

金虫 (小有名气)

[求助] 关于PVD镀膜问题 已有1人参与

本人在这做CrSiAlN四元复合薄膜，但开启了偏压后，单晶硅基体表面被刻蚀了一样，不开偏压的情况下就没有出现这样的情况，试了很多种开偏压的情况下还是 会被刻蚀。有遇到过这样的问题的大神吗？求指教
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-06-22 15:24:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

fpei_csu

银虫 (小有名气)
把前面的刻蚀时间缩短，或者，是不是应力太大，导致涂层微脱落造成的假象，你可以用SEM观察一下表面

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2017-06-22 16:07:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
电弧还是溅射？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
Forwonderfultomorrow
2楼2017-06-22 15:27:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:27:37
电弧还是溅射？

电弧的
回复此楼
3楼2017-06-22 15:38:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
偏压是不是太高了？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
Forwonderfultomorrow
4楼2017-06-22 15:40:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:40:21
偏压是不是太高了？

我调到很低了，但还是出现这种情况，因为前段时间修过仪器，真空度变高了，但做实验就会出现这种情况，用以前的条件下做就做不出来这种效果，求指导啊
赞一下 回复此楼
5楼2017-06-22 15:45:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
你的说的像蚀刻的表面是雾面吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
Forwonderfultomorrow
6楼2017-06-22 15:51:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
7楼2017-06-22 16:00:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
关于PVD镀膜问题

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2017-06-22 16:54:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:51:58
你的说的像蚀刻的表面是雾面吗？

上传了图片，你帮忙看看
赞一下 回复此楼
10楼2017-06-22 16:55:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liangjinjue 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 接受任何调剂 +4 也就是栗子 2026-04-17 4/200 2026-04-17 17:57 by Equinoxhua
[考研] 0854求调剂 +21 门路摸摸 2026-04-15 25/1250 2026-04-17 15:45 by qzxyhcsy
[考研] 335求调剂 +20 想上岸呀！！ 2026-04-12 23/1150 2026-04-17 10:50 by cuisz
[考研] 0831生医工第一轮调剂失败求助 +14 小熊睿睿_s 2026-04-11 18/900 2026-04-16 20:41 by lpl364211
[考研] 322求调剂 +8 123安康 2026-04-12 15/750 2026-04-16 11:07 by Espannnnnol
[考研] 药学求调剂 +14 喽哈加油 2026-04-14 16/800 2026-04-16 10:15 by beilsong20
[考研] 290调剂生物0860 +38 哇哈哈，。 2026-04-11 44/2200 2026-04-16 09:52 by cuisz
[考研] 289 分105500药学专硕求调剂(找B区学校) +4 白云123456789 2026-04-13 4/200 2026-04-16 00:18 by 粉沁若尘
[考研] 求调剂 +11 小聂爱学习 2026-04-11 15/750 2026-04-15 21:57 by noqvsozv
[考研] 297，工科调剂? +10 河南农业大学-能 2026-04-14 10/500 2026-04-15 21:50 by noqvsozv
[考研] 调剂求收留 +34 果然有我 2026-04-10 35/1750 2026-04-15 13:05 by 西北望—风沙
[考研] 300分求调剂 （085501机械专硕，本科扬大） +9 xu@841019 2026-04-11 10/500 2026-04-14 08:48 by 木木mumu～
[考研] 考研英一数一338分 +9 长江大学东校区 2026-04-13 10/500 2026-04-14 00:41 by 王珺璞
[考研] 297工科，求调剂? +13 河南农业大学-能 2026-04-12 13/650 2026-04-13 14:12 by dingyanbo1
[考研] 材料考研调剂 +29 云木达达 2026-04-11 31/1550 2026-04-13 13:32 by lyh鲁老师
[考研] 290求调剂 +18 柯淮然 2026-04-12 20/1000 2026-04-13 12:56 by cyh—315
[考研] 。 +10 李多米lee. 2026-04-12 11/550 2026-04-12 22:58 by yuyin1233
[考研] 359求调剂 +5 胃痉挛累了 2026-04-11 5/250 2026-04-11 19:55 by lbsjt
[考研] 调剂求助 +6 果然有我 2026-04-11 7/350 2026-04-11 16:22 by 明月此时有
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +16 叶zilin 2026-04-10 16/800 2026-04-11 11:04 by may_新宇
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭