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liangjinjue

金虫 (小有名气)

[求助] 关于PVD镀膜问题 已有1人参与

本人在这做CrSiAlN四元复合薄膜，但开启了偏压后，单晶硅基体表面被刻蚀了一样，不开偏压的情况下就没有出现这样的情况，试了很多种开偏压的情况下还是 会被刻蚀。有遇到过这样的问题的大神吗？求指教
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1楼 2017-06-22 15:24:25
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

fpei_csu

银虫 (小有名气)
把前面的刻蚀时间缩短，或者，是不是应力太大，导致涂层微脱落造成的假象，你可以用SEM观察一下表面

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8楼2017-06-22 16:07:04
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普通回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
电弧还是溅射？

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Forwonderfultomorrow
2楼2017-06-22 15:27:37
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liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:27:37
电弧还是溅射？

电弧的
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3楼2017-06-22 15:38:58
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很闪很闪

金虫 (小有名气)
偏压是不是太高了？

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Forwonderfultomorrow
4楼2017-06-22 15:40:21
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liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:40:21
偏压是不是太高了？

我调到很低了，但还是出现这种情况，因为前段时间修过仪器，真空度变高了，但做实验就会出现这种情况，用以前的条件下做就做不出来这种效果，求指导啊
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5楼2017-06-22 15:45:43
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很闪很闪

金虫 (小有名气)
你的说的像蚀刻的表面是雾面吗？

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Forwonderfultomorrow
6楼2017-06-22 15:51:58
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
7楼2017-06-22 16:00:27
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liangjinjue

金虫 (小有名气)
关于PVD镀膜问题

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9楼2017-06-22 16:54:26
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liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:51:58
你的说的像蚀刻的表面是雾面吗？

上传了图片，你帮忙看看
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10楼2017-06-22 16:55:03
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