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liangjinjue

金虫 (小有名气)

[求助] 关于PVD镀膜问题 已有1人参与

本人在这做CrSiAlN四元复合薄膜,但开启了偏压后,单晶硅基体表面被刻蚀了一样,不开偏压的情况下就没有出现这样的情况,试了很多种开偏压的情况下还是 会被刻蚀。有遇到过这样的问题的大神吗?求指教
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091820053

禁虫 (知名作家)

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7楼2017-06-22 16:00:27
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很闪很闪

金虫 (小有名气)

Forwonderfultomorrow
2楼2017-06-22 15:27:37
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liangjinjue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:27:37
电弧还是溅射?

电弧的
3楼2017-06-22 15:38:58
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很闪很闪

金虫 (小有名气)

Forwonderfultomorrow
4楼2017-06-22 15:40:21
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