应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 资源共享 » 关于PVD镀膜问题
151/2返回列表12下一页
查看: 1673  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

liangjinjue

金虫 (小有名气)

[求助] 关于PVD镀膜问题 已有1人参与

本人在这做CrSiAlN四元复合薄膜，但开启了偏压后，单晶硅基体表面被刻蚀了一样，不开偏压的情况下就没有出现这样的情况，试了很多种开偏压的情况下还是 会被刻蚀。有遇到过这样的问题的大神吗？求指教
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-06-22 15:24:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

fpei_csu

银虫 (小有名气)
把前面的刻蚀时间缩短，或者，是不是应力太大，导致涂层微脱落造成的假象，你可以用SEM观察一下表面

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2017-06-22 16:07:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
电弧还是溅射？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
Forwonderfultomorrow
2楼2017-06-22 15:27:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:27:37
电弧还是溅射？

电弧的
回复此楼
3楼2017-06-22 15:38:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
偏压是不是太高了？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
Forwonderfultomorrow
4楼2017-06-22 15:40:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:40:21
偏压是不是太高了？

我调到很低了，但还是出现这种情况，因为前段时间修过仪器，真空度变高了，但做实验就会出现这种情况，用以前的条件下做就做不出来这种效果，求指导啊
赞一下 回复此楼
5楼2017-06-22 15:45:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)
你的说的像蚀刻的表面是雾面吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
Forwonderfultomorrow
6楼2017-06-22 15:51:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
7楼2017-06-22 16:00:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
关于PVD镀膜问题

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2017-06-22 16:54:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:51:58
你的说的像蚀刻的表面是雾面吗？

上传了图片，你帮忙看看
赞一下 回复此楼
10楼2017-06-22 16:55:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liangjinjue 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 23jxep3nCNZb 2026-09-14 4/200 2026-09-16 21:03 by MHf40yA0Uhyb
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-16 19:27 by rRvxEj3zorCy
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +7 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 8/400 2026-09-16 18:37 by rRvxEj3zorCy
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-16 16:24 by i3KBRD19ERkG
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-16 16:12 by i3KBRD19ERkG
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-16 15:48 by i3KBRD19ERkG
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-16 14:39 by i3KBRD19ERkG
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组｜2027级博士研究生招生公告 +7 水士口 2026-09-16 8/400 2026-09-16 13:47 by kkklens
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 4/200 2026-09-16 07:48 by i0IGWqQuchto
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 3/150 2026-09-16 06:48 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-16 06:24 by LH5NkK5Ud4bh
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-16 05:15 by LH5NkK5Ud4bh
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 4/200 2026-09-16 04:27 by DgNGHc3h5tPl
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:39 by CgyNCDVNhGVg
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +7 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-15 16:23 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-15 15:14 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 4/200 2026-09-15 14:34 by VMDqgnlKimtZ
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 7/350 2026-09-15 14:22 by VMDqgnlKimtZ
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:26 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:38 by 5BDX0d0WFp7t
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭