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liangjinjue金虫 (小有名气)
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关于PVD镀膜问题 已有1人参与
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| 本人在这做CrSiAlN四元复合薄膜，但开启了偏压后，单晶硅基体表面被刻蚀了一样，不开偏压的情况下就没有出现这样的情况，试了很多种开偏压的情况下还是 会被刻蚀。有遇到过这样的问题的大神吗？求指教 |
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liangjinjue
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9楼2017-06-22 16:54:26
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2楼2017-06-22 15:27:37
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3楼2017-06-22 15:38:58
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4楼2017-06-22 15:40:21
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