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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 资源共享 » 关于PVD镀膜问题
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liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by fpei_csu at 2017-06-22 16:07:04
把前面的刻蚀时间缩短，或者，是不是应力太大，导致涂层微脱落造成的假象，你可以用SEM观察一下表面

用手去摸明显感觉得出来
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11楼2017-06-22 16:55:24
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liangjinjue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 091820053 at 2017-06-22 16:00:27
电子打到基材形成刻蚀

对，但是以前没出现这样的情况
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12楼2017-06-22 16:55:50
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很闪很闪

金虫 (小有名气)
你这个看起来像表面脱膜似的

发自小木虫Android客户端
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Forwonderfultomorrow
13楼2017-06-22 17:05:23
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aaron5235

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
请问基底是什么，你的偏压是否引起了基片表面闪火（arcing）。沉积薄膜时观察一下，基片的状态。或者观察基体上的离子流是否稳定。
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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
14楼2017-06-23 05:45:42
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aaron5235

木虫 (正式写手)
是否偏压引起了基片闪火。
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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
15楼2017-06-23 05:47:02
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