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liangjinjue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by fpei_csu at 2017-06-22 16:07:04
把前面的刻蚀时间缩短,或者,是不是应力太大,导致涂层微脱落造成的假象,你可以用SEM观察一下表面

用手去摸明显感觉得出来
11楼2017-06-22 16:55:24
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liangjinjue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 091820053 at 2017-06-22 16:00:27
电子打到基材形成刻蚀

对,但是以前没出现这样的情况
12楼2017-06-22 16:55:50
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很闪很闪

金虫 (小有名气)

你这个看起来像表面脱膜似的

发自小木虫Android客户端
Forwonderfultomorrow
13楼2017-06-22 17:05:23
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aaron5235

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
请问基底是什么,你的偏压是否引起了基片表面闪火(arcing)。沉积薄膜时观察一下,基片的状态。或者观察基体上的离子流是否稳定。
人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
14楼2017-06-23 05:45:42
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aaron5235

木虫 (正式写手)

是否偏压引起了基片闪火。
人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
15楼2017-06-23 05:47:02
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