24小时热门版块排行榜    

查看: 1258  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)

[求助] 关于PVD镀膜问题 已有1人参与

本人在这做CrSiAlN四元复合薄膜,但开启了偏压后,单晶硅基体表面被刻蚀了一样,不开偏压的情况下就没有出现这样的情况,试了很多种开偏压的情况下还是 会被刻蚀。有遇到过这样的问题的大神吗?求指教
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aaron5235

木虫 (正式写手)

是否偏压引起了基片闪火。
人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
15楼2017-06-23 05:47:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

很闪很闪

金虫 (小有名气)

Forwonderfultomorrow
2楼2017-06-22 15:27:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liangjinjue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-06-22 15:27:37
电弧还是溅射?

电弧的
3楼2017-06-22 15:38:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

很闪很闪

金虫 (小有名气)

Forwonderfultomorrow
4楼2017-06-22 15:40:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见