| 查看: 3151 | 回复: 18 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
求光刻胶的大神 已有9人参与
|
|||
|
我是买的SU-8光刻胶干膜，然后把它贴在铜基底上，做一个30μm、深宽比为3.3:1左右的凹槽，一个基底上开了12个凹槽，等间距的。 固化工艺是： 前烘92°，2min； 曝光40s(100μm厚)； 后烘：65°，5min；95°，10min； 但是一直显影失败，显影的的时候那些槽壁会慢慢变弯曲成波浪形，最终全显影掉。试过不同的显影时间都是这个情况。现在不知道什么原因了，求大神帮忙分析分析。 本人和导师都是第一次接触这个完全不懂，出现问题也不知道找谁交流，只能上这来求助了 |
回复此楼» 猜你喜欢
材料求调剂一志愿哈工大324
已经有5人回复
-
一志愿哈尔滨工业大学材料与化工方向336分
已经有5人回复
-
0856材料化工调剂 总分330
已经有9人回复
-
085602 化工专硕 338分 求调剂
已经有9人回复
-
352分 化工与材料
已经有4人回复
-
求调剂
已经有8人回复
-
材料求调剂 一志愿哈工大总分298分，前三科223分
已经有3人回复
-
085600 286分 材料求调剂
已经有4人回复
-
求调剂
已经有7人回复
-
275求调剂
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 光刻三角型的问题求助！！！
已经有5人回复
- 关于酚醛树脂与氮气、笑气（NO）的反应
已经有1人回复
- 高分子类微电子材料
已经有1人回复
- 旋涂后出现一点一点光斑是不是因为胶液内有气泡的原因
已经有2人回复
- 求卖光刻胶AR-N 4340 的地方！ 急求！最好是能在一两周之内到的。
已经有2人回复
- 光刻胶S1813和AZ5206E在哪买的，价格多少？求大神告知。
已经有4人回复
- 求助做光刻的大神
已经有3人回复
- 金属银膜做lift off
已经有10人回复
- 电镀铜的问题？
已经有6人回复
- AZ胶光刻显影时间不确定。。。求大神
已经有8人回复
- 求大神指教啊，在单晶硅片上，镀了层二氧化硅，怎样精确测二氧化硅厚度？
已经有21人回复
- 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？
已经有17人回复
weilingdun
木虫 (著名写手)
- 应助: 112 (高中生)
- 金币: 3720.8
- 红花: 28
- 帖子: 1061
- 在线: 305.5小时
- 虫号: 6215417
- 注册: 2017-04-01
- 专业: 功能与智能高分子
3楼2017-06-02 19:28:19
2楼2017-06-02 09:03:51
4楼2017-06-19 16:55:40
5楼2017-06-20 08:53:51
