| 查看: 1729 | 回复: 2 | ||
[求助]
旋涂后出现一点一点光斑是不是因为胶液内有气泡的原因 已有1人参与
|
| 近期用自动滴胶功能，出现旋涂后有一点一点肉眼明显的光斑，是不是气泡影响？6寸硅片旋涂时第一步：片子是静止的时候滴入足够的光刻胶AZ6130，第二步4000RPM高速旋涂均匀，加速度设置在5000RPM/S；手动移液器滴胶的话效果会好很多，不知道是什么原因，会是加速度太大吗？求大神指导 |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有109人回复
-
哈尔滨工程大学国家级青年人才-27年申请考核制博士招生（材料、化学、生物医学专业）
已经有13人回复
-
HRTEM/原位TEM/HRSTEM检测｜价格优·周期短·可加急
已经有0人回复
-
大家平时也可以交流下
已经有1人回复
-
ELSEVIER旗下投稿decision in process后with editor，应该如何理解
已经有45人回复
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2508
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
2楼2018-12-03 13:51:24
3楼2018-12-04 17:38:49