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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 旋涂后出现一点一点光斑是不是因为胶液内有气泡的原因
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东方之殿free

铁虫 (初入文坛)

[求助] 旋涂后出现一点一点光斑是不是因为胶液内有气泡的原因 已有1人参与

近期用自动滴胶功能，出现旋涂后有一点一点肉眼明显的光斑，是不是气泡影响？6寸硅片旋涂时第一步：片子是静止的时候滴入足够的光刻胶AZ6130，第二步4000RPM高速旋涂均匀，加速度设置在5000RPM/S；手动移液器滴胶的话效果会好很多，不知道是什么原因，会是加速度太大吗？求大神指导
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有志者，事竟成
1楼 2015-05-31 21:29:06
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

喷嘴污染了吧，建议检查清理下
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2楼2018-12-03 13:51:24
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
显微镜看一下，拍一下照片才好分析，不知道你现在解决了没有
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3楼2018-12-04 17:38:49
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