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东方之殿free

铁虫 (初入文坛)

[求助] 旋涂后出现一点一点光斑是不是因为胶液内有气泡的原因 已有1人参与

近期用自动滴胶功能,出现旋涂后有一点一点肉眼明显的光斑,是不是气泡影响?6寸硅片旋涂时第一步:片子是静止的时候滴入足够的光刻胶AZ6130,第二步4000RPM高速旋涂均匀,加速度设置在5000RPM/S;手动移液器滴胶的话效果会好很多,不知道是什么原因,会是加速度太大吗?求大神指导
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有志者,事竟成
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

喷嘴污染了吧,建议检查清理下
2楼2018-12-03 13:51:24
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

显微镜看一下,拍一下照片才好分析,不知道你现在解决了没有
3楼2018-12-04 17:38:49
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