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旋涂后出现一点一点光斑是不是因为胶液内有气泡的原因 已有1人参与
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| 近期用自动滴胶功能，出现旋涂后有一点一点肉眼明显的光斑，是不是气泡影响？6寸硅片旋涂时第一步：片子是静止的时候滴入足够的光刻胶AZ6130，第二步4000RPM高速旋涂均匀，加速度设置在5000RPM/S；手动移液器滴胶的话效果会好很多，不知道是什么原因，会是加速度太大吗？求大神指导 |
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babyoflion
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