24小时热门版块排行榜    

查看: 1013  |  回复: 5

lubin888

禁虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wxa616

银虫 (小有名气)

模板和光胶直接间隙太大。应该是曝光机的问题。你们的曝光机可以做到多少的精度呢
无咎无誉
2楼2015-11-02 15:46:13
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lubin888

禁虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

3楼2015-11-03 14:57:58
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lubin888: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-11-11 12:40:40
引用回帖:
3楼: Originally posted by lubin888 at 2015-11-03 14:57:58
您好,我们这边曝光机精度可以做到0.5um。您说的我没有太明白,掩膜版和光刻胶之间间隙太大,是接触曝光没有接触好吗?...

没有接触式曝光机能曝到0.5um的,都是骗人的。
你这个接触不好使肯定的,但就算接触好了也没用。
5um的三角,用接触式曝光机做不好的。而且你用的3100的分辨率本身也不够。改用stepper吧。
4楼2015-11-04 16:19:16
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

PXweng

新虫 (初入文坛)

正胶的特性,中间切SEM应该像个火山口凹下去,呵呵

发自小木虫IOS客户端
有事电话说嘛13925288900
5楼2015-12-03 16:07:34
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

PXweng

新虫 (初入文坛)

你工艺没控制好,这个规格应该还是可以调出来

发自小木虫IOS客户端
有事电话说嘛13925288900
6楼2015-12-03 16:08:24
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lubin888 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 HFw0lei2R37i 2026-08-14 8/400 2026-08-15 14:41 by QXtWNz7PI7wZ
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +7 majunge000 2026-08-11 9/450 2026-08-15 13:34 by kiz2011
[博后之家] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 3/150 2026-08-15 12:41 by KxMI1BYBxWX1
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 HFw0lei2R37i 2026-08-14 9/450 2026-08-15 11:33 by KxMI1BYBxWX1
[公派出国] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 5/250 2026-08-15 07:09 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] filecode +7 cratir 2026-08-14 11/550 2026-08-15 06:19 by 学员8dgXkO
[找工作] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 4/200 2026-08-15 02:21 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +11 Tide man 2026-08-10 12/600 2026-08-15 02:12 by home3163
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 22/1100 2026-08-14 23:45 by Noways
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +10 家与远方 2026-08-10 15/750 2026-08-14 02:08 by 绵羊哥哥
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
信息提示
请填处理意见