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lubin888

禁虫 (初入文坛)

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wxa616

银虫 (小有名气)

模板和光胶直接间隙太大。应该是曝光机的问题。你们的曝光机可以做到多少的精度呢
无咎无誉
2楼2015-11-02 15:46:13
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lubin888

禁虫 (初入文坛)

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3楼2015-11-03 14:57:58
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lubin888: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-11-11 12:40:40
引用回帖:
3楼: Originally posted by lubin888 at 2015-11-03 14:57:58
您好,我们这边曝光机精度可以做到0.5um。您说的我没有太明白,掩膜版和光刻胶之间间隙太大,是接触曝光没有接触好吗?...

没有接触式曝光机能曝到0.5um的,都是骗人的。
你这个接触不好使肯定的,但就算接触好了也没用。
5um的三角,用接触式曝光机做不好的。而且你用的3100的分辨率本身也不够。改用stepper吧。
4楼2015-11-04 16:19:16
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PXweng

新虫 (初入文坛)

正胶的特性,中间切SEM应该像个火山口凹下去,呵呵

发自小木虫IOS客户端
有事电话说嘛13925288900
5楼2015-12-03 16:07:34
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PXweng

新虫 (初入文坛)

你工艺没控制好,这个规格应该还是可以调出来

发自小木虫IOS客户端
有事电话说嘛13925288900
6楼2015-12-03 16:08:24
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