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lubin888

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1楼 2015-11-02 15:12:14

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

专家经验: +651
MN-EPI: 8
应助: 807 (博后)
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金币: 2618.1
散金: 6018
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在线: 577.8小时
虫号: 446878
注册: 2007-10-30
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lubin888: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-11-11 12:40:40

引用回帖:

3楼: Originally posted by lubin888 at 2015-11-03 14:57:58
您好，我们这边曝光机精度可以做到0.5um。您说的我没有太明白，掩膜版和光刻胶之间间隙太大，是接触曝光没有接触好吗？...

没有接触式曝光机能曝到0.5um的，都是骗人的。
你这个接触不好使肯定的，但就算接触好了也没用。
5um的三角，用接触式曝光机做不好的。而且你用的3100的分辨率本身也不够。改用stepper吧。

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4楼2015-11-04 16:19:16

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wxa616

银虫 (小有名气)

应助: 6 (幼儿园)
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红花: 3
帖子: 216
在线: 155.9小时
虫号: 1617017
注册: 2012-02-14
性别: GG
专业: 应用高分子化学与物理

模板和光胶直接间隙太大。应该是曝光机的问题。你们的曝光机可以做到多少的精度呢

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无咎无誉

2楼2015-11-02 15:46:13

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lubin888

禁虫 (初入文坛)

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3楼2015-11-03 14:57:58

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PXweng

新虫 (初入文坛)

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正胶的特性，中间切SEM应该像个火山口凹下去，呵呵

发自小木虫IOS客户端

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有事电话说嘛13925288900

5楼2015-12-03 16:07:34

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