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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] 电镀铜的问题? 已有2人参与

我先在2英寸硅片上溅射一层Cu导电层,然后再涂光刻胶光刻出我需要电镀的图案,电镀的电流密度15mA/cm2,时间35min,但是镀出来厚度才几百纳米。相应的我拿小硅片试验一下,电流密度和时间都一样,厚度>2um。想问一下是什么原因啊?另外最佳的电流密度是多少?求各位大神帮帮忙啊!!!
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suxinzg

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可能镀的时间短了,调下电流密度,时间,或者铜的浓度

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2013-12-19 15:42:27
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by suxinzg at 2013-12-19 15:42:27
可能镀的时间短了,调下电流密度,时间,或者铜的浓度

之前是时间短了,调了时间效果不是很显著。现在想调电流密度,但是不知道多少是最佳的效果。
3楼2013-12-19 15:58:24
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yin_nuaa

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你可以从铜上镀铜与硅上镀铜的角度考虑,基体对涂层的影响。
只有互助我们才能双赢。
4楼2013-12-19 20:44:18
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yin_nuaa at 2013-12-19 20:44:18
你可以从铜上镀铜与硅上镀铜的角度考虑,基体对涂层的影响。

我这应该是铜上镀铜。
5楼2013-12-20 00:40:55
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suxinzg

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
紫炎羊儿: 金币+10, 有帮助 2013-12-20 22:49:27
引用回帖:
2楼: Originally posted by suxinzg at 2013-12-19 15:42:27
可能镀的时间短了,调下电流密度,时间,或者铜的浓度

你不清楚是否是铜上镀铜吗?如果是铜上镀铜得清洗好表面,电流密度可以根据现有的数值往低和高做成一系列的试试

[ 发自小木虫客户端 ]
6楼2013-12-20 12:59:47
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卢松兵

新虫 (初入文坛)

0.5个电流密度
7楼2014-01-16 20:51:20
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