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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

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[求助] 电镀铜的问题？已有2人参与

我先在2英寸硅片上溅射一层Cu导电层，然后再涂光刻胶光刻出我需要电镀的图案，电镀的电流密度15mA/cm2，时间35min，但是镀出来厚度才几百纳米。相应的我拿小硅片试验一下，电流密度和时间都一样，厚度>2um。想问一下是什么原因啊？另外最佳的电流密度是多少？求各位大神帮帮忙啊！！！

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1楼2013-12-19 13:22:19

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紫炎羊儿

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suxinzg

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紫炎羊儿

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yin_nuaa

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