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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射加热时出现问题了
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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White7659

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射加热时出现问题了

进行磁控溅射时，进行了衬底加热，加热到需要温度后进行溅射，但是一加起辉电压时，温度突然降低，加热电流会骤然上升，甚至超过了保险管能承受的极限电流值而把保险管废了。
检查了腔室内的各部件仍没发现问题所在，望有高手指教！！！

[ Last edited by White7659 on 2008-12-17 at 21:56 ]
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1楼 2008-12-17 21:53:38
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bluesky238

木虫 (正式写手)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流，欢迎常来物理版：）
是不是你的磁控是射频溅射，这样的话按我的感觉是射频感应加热电阻丝导致电流太大的。我以前也遇到过这种情况
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2楼2008-12-17 22:33:33
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
国内的仪器最好不加热，加热很容易坏。
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3楼2008-12-18 09:02:41
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White7659

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by bluesky238 at 2008-12-17 22:33:
是不是你的磁控是射频溅射，这样的话按我的感觉是射频感应加热电阻丝导致电流太大的。我以前也遇到过这种情况

是射频溅射，我不明白起辉时电压加在靶上，加热衬底距离靶有一段距离，起辉电压怎么会影响到加热电流呢？温控仪显示起辉时温度会突然降低。会不会可能是热阻出现问题呢？
请问你当时是怎么解决的呢？？
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4楼2008-12-18 10:50:51
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White7659

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by ddx-k at 2008-12-18 09:02:
国内的仪器最好不加热，加热很容易坏。

我实验要求必须加热的~~~仪器极限温度300度，我的实验就加热到了270度，感觉是对仪器损伤不小~~~
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5楼2008-12-18 10:54:41
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
不一定非要加热吧，可以事后退火啊，这样不行吗？再有最好能吧自己的实验简单介绍下，说不定有人能给你更好的建议呢，如果是国防军工等保密项目那就
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6楼2008-12-18 12:23:37
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yjyang07

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by White7659 at 2008-12-17 21:53:
进行磁控溅射时，进行了衬底加热，加热到需要温度后进行溅射，但是一加起辉电压时，温度突然降低，加热电流会骤然上升，甚至超过了保险管能承受的极限电流值而把保险管废了。
检查了腔室内的各部件仍没发现问题 ...

你这个应该与射频电源没有直接关系的
可能是你电路问题：最有可能就是短路
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天行健，君子以自强不息～～～～～
7楼2009-08-17 11:05:55
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bote

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
change the power supply of your heater to a DC power supply
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8楼2009-08-20 16:27:17
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chenguang5895

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你也可以对氛围加热。不要只对substrate加热。
不知道的你的sputter是否可以啊
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9楼2009-08-20 16:57:30
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水中绿洲

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我们实验室的设备也是  加热老是有问题 ，应该是电路的问题吧
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10楼2009-10-01 22:19:55
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