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【求助】磁控溅射加热时出现问题了
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进行磁控溅射时,进行了衬底加热,加热到需要温度后进行溅射,但是一加起辉电压时,温度突然降低,加热电流会骤然上升,甚至超过了保险管能承受的极限电流值而把保险管废了。检查了腔室内的各部件仍没发现问题所在,望有高手指教!!! [ Last edited by White7659 on 2008-12-17 at 21:56 ] |
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进行磁控溅射时,进行了衬底加热,加热到需要温度后进行溅射,但是一加起辉电压时,温度突然降低,加热电流会骤然上升,甚至超过了保险管能承受的极限电流值而把保险管废了。
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