应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射加热时出现问题了
51/1返回列表
查看: 1577  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

White7659

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射加热时出现问题了

进行磁控溅射时，进行了衬底加热，加热到需要温度后进行溅射，但是一加起辉电压时，温度突然降低，加热电流会骤然上升，甚至超过了保险管能承受的极限电流值而把保险管废了。
检查了腔室内的各部件仍没发现问题所在，望有高手指教！！！

[ Last edited by White7659 on 2008-12-17 at 21:56 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
希望结交更多朋友，互相帮助，收获更多知识！
1楼 2008-12-17 21:53:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

White7659

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by bluesky238 at 2008-12-17 22:33:
是不是你的磁控是射频溅射，这样的话按我的感觉是射频感应加热电阻丝导致电流太大的。我以前也遇到过这种情况

是射频溅射，我不明白起辉时电压加在靶上，加热衬底距离靶有一段距离，起辉电压怎么会影响到加热电流呢？温控仪显示起辉时温度会突然降低。会不会可能是热阻出现问题呢？
请问你当时是怎么解决的呢？？
赞一下 回复此楼
希望结交更多朋友，互相帮助，收获更多知识！
4楼2008-12-18 10:50:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

bluesky238

木虫 (正式写手)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流，欢迎常来物理版：）
是不是你的磁控是射频溅射，这样的话按我的感觉是射频感应加热电阻丝导致电流太大的。我以前也遇到过这种情况
赞一下(10人) 回复此楼
2楼2008-12-17 22:33:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
国内的仪器最好不加热，加热很容易坏。
赞一下 回复此楼
3楼2008-12-18 09:02:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

White7659

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by ddx-k at 2008-12-18 09:02:
国内的仪器最好不加热，加热很容易坏。

我实验要求必须加热的~~~仪器极限温度300度，我的实验就加热到了270度，感觉是对仪器损伤不小~~~
赞一下 回复此楼
希望结交更多朋友，互相帮助，收获更多知识！
5楼2008-12-18 10:54:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭