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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射加热时出现问题了
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wsh8511

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
应该是电路有问题，否则射频感性咋可能感应到加热器上去嘛
肯定是射频加功率的电路与加热电路哪里导通了或者是线路出现了一些问题
赞一下(1人) 回复此楼
11楼2009-10-07 21:57:54
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