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【求助】磁控溅射加热时出现问题了
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 进行磁控溅射时，进行了衬底加热，加热到需要温度后进行溅射，但是一加起辉电压时，温度突然降低，加热电流会骤然上升，甚至超过了保险管能承受的极限电流值而把保险管废了。检查了腔室内的各部件仍没发现问题所在，望有高手指教！！！ [ Last edited by White7659 on 2008-12-17 at 21:56 ] |
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3楼2008-12-18 09:02:41
bluesky238
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1685.5
- 散金: 1
- 帖子: 769
- 在线: 100.4小时
- 虫号: 491261
- 注册: 2008-01-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2008-12-17 22:33:33
4楼2008-12-18 10:50:51
5楼2008-12-18 10:54:41
