| 查看: 1136 | 回复: 10 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
【求助】磁控溅射加热时出现问题了
|
|||
 进行磁控溅射时，进行了衬底加热，加热到需要温度后进行溅射，但是一加起辉电压时，温度突然降低，加热电流会骤然上升，甚至超过了保险管能承受的极限电流值而把保险管废了。检查了腔室内的各部件仍没发现问题所在，望有高手指教！！！ [ Last edited by White7659 on 2008-12-17 at 21:56 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
之前让一硕士生水了7个发明专利，现在这7个获批发明专利的维护费可从哪儿支出哈？
已经有7人回复
-
博士申请都是内定的吗？
已经有7人回复
-
读博
已经有5人回复
-
博士读完未来一定会好吗
已经有29人回复
-
投稿精细化工
已经有4人回复
-
高职单位投计算机相关的北核或SCI四区期刊推荐，求支招！
已经有4人回复
-
导师想让我从独立一作变成了共一第一
已经有9人回复
-
心脉受损
已经有5人回复
-
Springer期刊投稿求助
已经有4人回复
-
小论文投稿
已经有3人回复
yjyang07
木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2144.6
- 散金: 200
- 红花: 5
- 帖子: 1205
- 在线: 109.6小时
- 虫号: 821620
- 注册: 2009-08-04
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2009-08-17 11:05:55