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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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White7659

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射加热时出现问题了

进行磁控溅射时,进行了衬底加热,加热到需要温度后进行溅射,但是一加起辉电压时,温度突然降低,加热电流会骤然上升,甚至超过了保险管能承受的极限电流值而把保险管废了。
检查了腔室内的各部件仍没发现问题所在,望有高手指教!!!

[ Last edited by White7659 on 2008-12-17 at 21:56 ]
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White7659

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by ddx-k at 2008-12-18 09:02:
国内的仪器最好不加热,加热很容易坏。

我实验要求必须加热的~~~仪器极限温度300度,我的实验就加热到了270度,感觉是对仪器损伤不小~~~
希望结交更多朋友,互相帮助,收获更多知识!
5楼2008-12-18 10:54:41
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bluesky238

木虫 (正式写手)


zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流,欢迎常来物理版:)
是不是你的磁控是射频溅射,这样的话按我的感觉是射频感应加热电阻丝导致电流太大的。我以前也遇到过这种情况
2楼2008-12-17 22:33:33
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

国内的仪器最好不加热,加热很容易坏。
3楼2008-12-18 09:02:41
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White7659

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by bluesky238 at 2008-12-17 22:33:
是不是你的磁控是射频溅射,这样的话按我的感觉是射频感应加热电阻丝导致电流太大的。我以前也遇到过这种情况

是射频溅射,我不明白起辉时电压加在靶上,加热衬底距离靶有一段距离,起辉电压怎么会影响到加热电流呢?温控仪显示起辉时温度会突然降低。会不会可能是热阻出现问题呢?
请问你当时是怎么解决的呢??
希望结交更多朋友,互相帮助,收获更多知识!
4楼2008-12-18 10:50:51
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