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黑白迹忆

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射靶材要求 已有4人参与

最近涉及到了磁控溅射实验,不知道靶材有什么要求。我知道的是纯度和致密度,但不知道具体要求;还有人说靶材的尺寸还有要求。请大神留步啊

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孟将1989

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
黑白迹忆(20091783代发): 金币+5 2017-04-22 21:44:34
溅射的功率大小也会影响的,功率太大靶起弧严重,还有可能使靶裂开。
但是功率小了镀膜的速度就降低了。
同时还要看你靶的大小,功率都是有经验的,一般的都是那么多
好好学习,天天向上
6楼2016-12-26 10:29:46
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
黑白迹忆(20091783代发): 金币+3 2017-04-22 21:44:19
纯度、尺寸、厂家。尺寸是为了匹配镀膜机里的溅射阴极;不同厂家的质量差别还是挺大的。
2楼2016-12-16 14:53:31
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chennn

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
黑白迹忆(20091783代发): 金币+3 2017-04-22 21:44:25
包括尺寸、纯度、晶体结构、厚度、有些还有晶向,我们实验室买的是中诺新材!

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3楼2016-12-16 18:15:30
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jackylee1992

木虫 (小有名气)

4楼2016-12-17 08:29:27
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