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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 质量控制与检验 » 磁控溅射靶材要求
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黑白迹忆

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射靶材要求 已有4人参与

最近涉及到了磁控溅射实验，不知道靶材有什么要求。我知道的是纯度和致密度，但不知道具体要求;还有人说靶材的尺寸还有要求。请大神留步啊

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学以致用，脚踏实地
1楼 2016-12-15 20:00:53
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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黑白迹忆(20091783代发): 金币+3 2017-04-22 21:44:19
纯度、尺寸、厂家。尺寸是为了匹配镀膜机里的溅射阴极；不同厂家的质量差别还是挺大的。
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2楼2016-12-16 14:53:31
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chennn

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
黑白迹忆(20091783代发): 金币+3 2017-04-22 21:44:25
包括尺寸、纯度、晶体结构、厚度、有些还有晶向，我们实验室买的是中诺新材！

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3楼2016-12-16 18:15:30
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jackylee1992

木虫 (小有名气)
还要看靶怎样嘛

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4楼2016-12-17 08:29:27
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

就这么些东西，纯度、致密度、尺寸这么些东东。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
5楼2016-12-22 09:59:02
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孟将1989

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
黑白迹忆(20091783代发): 金币+5 2017-04-22 21:44:34
溅射的功率大小也会影响的，功率太大靶起弧严重，还有可能使靶裂开。
但是功率小了镀膜的速度就降低了。
同时还要看你靶的大小，功率都是有经验的，一般的都是那么多
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好好学习，天天向上
6楼2016-12-26 10:29:46
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