应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PDMS上溅射金属
141/2返回列表12下一页
查看: 3713  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

siyecao2209

新虫 (初入文坛)

[求助] PDMS上溅射金属 已有2人参与

想在PDMS（道康宁184）上溅射金属。1.spin-coating的方式在硅片上涂一层PDMS；2.采用AZ4620进行光刻；3.溅射200nm的Au。上述过程已经完成，现在要剥离掉AZ光刻胶，请问采用什么方式比较合适？传统的丙酮会不会将PDMS也剥离掉呢？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

微纳尺度全分析

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2016-11-25 15:19:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
siyecao2209: 金币+1, ★有帮助 2016-12-13 20:50:19
为啥用4620呢？好歹用5214e啊。4620上面，你的金属肯定爬坡了，想把4620剥掉就难了。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2016-11-29 11:57:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

科了个研

铁虫 (小有名气)
不会的，看着金掉了就拿出来，不要泡太长时间

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-11-26 11:17:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ForewarLin

新虫 (初入文坛)
Ragers研究组的文章有类似的工艺

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2016-11-28 12:09:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

siyecao2209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ForewarLin at 2016-11-28 12:09:42
Ragers研究组的文章有类似的工艺

你说的是 JA Rogers？
赞一下 回复此楼
5楼2016-12-01 20:48:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

siyecao2209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-29 11:57:07
为啥用4620呢？好歹用5214e啊。4620上面，你的金属肯定爬坡了，想把4620剥掉就难了。

现有的胶似4620  为了图方便就用了这个  做了硅片上的剥离实验 丙酮＋超声  挺容易剥离掉的
赞一下 回复此楼
6楼2016-12-01 20:49:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
siyecao2209: 金币+1, ★有帮助 2016-12-13 20:50:44
引用回帖:
6楼: Originally posted by siyecao2209 at 2016-12-01 20:49:36
现有的胶似4620  为了图方便就用了这个  做了硅片上的剥离实验 丙酮＋超声  挺容易剥离掉的...

最后要拿到的就是200nm的金膜吗？取出来的时候不会损坏吗
赞一下 回复此楼
7楼2016-12-12 09:55:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

siyecao2209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by exciting73 at 2016-12-12 09:55:49
最后要拿到的就是200nm的金膜吗？取出来的时候不会损坏吗...

不是要Au薄膜   我需要的就是PDMS+Au结构

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
8楼2016-12-12 10:11:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
siyecao2209: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-12-13 20:50:55
引用回帖:
8楼: Originally posted by siyecao2209 at 2016-12-12 10:11:19
不是要Au薄膜   我需要的就是PDMS+Au结构
...

PDMS比4620耐受有机溶剂要强不少，剥离过程应该不会对PDMS造成损坏。也可用负胶做lift-off工艺，剥离很容易，不用超声的。
赞一下 回复此楼
9楼2016-12-12 15:47:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

siyecao2209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by exciting73 at 2016-12-12 15:47:58
PDMS比4620耐受有机溶剂要强不少，剥离过程应该不会对PDMS造成损坏。也可用负胶做lift-off工艺，剥离很容易，不用超声的。...

嗯嗯~~谢谢你的回复  但是我在做的过程中存在另一个问题就是在PDMS基底上用4620光刻 显影的时候很容易出现裂纹 是怎么回事呢  有没有办法解决？
赞一下 回复此楼
10楼2016-12-12 17:25:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 siyecao2209 的主题更新
141/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +3 布布和一二 2026-08-08 3/150 2026-08-08 18:15 by Lightingo
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 好奇怪的filecode +3 布布和一二 2026-08-08 4/200 2026-08-08 17:46 by zhanghaozhu
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:22 by oEVWOejN9taj
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:19 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:27 by oEVWOejN9taj
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:02 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 WQyTGMbfH7Cx 2026-08-07 4/200 2026-08-08 15:02 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +5 布布和一二 2026-08-08 8/400 2026-08-08 14:54 by archvillain
[基金申请] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 4/200 2026-08-08 14:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:07 by oEVWOejN9taj
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 3/150 2026-08-08 03:47 by 6vVgjDL4CnGu
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 纯娱乐，不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭