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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PDMS上溅射金属
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siyecao2209

新虫 (初入文坛)

[求助] PDMS上溅射金属已有2人参与

想在PDMS（道康宁184）上溅射金属。1.spin-coating的方式在硅片上涂一层PDMS；2.采用AZ4620进行光刻；3.溅射200nm的Au。上述过程已经完成，现在要剥离掉AZ光刻胶，请问采用什么方式比较合适？传统的丙酮会不会将PDMS也剥离掉呢？
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1楼2016-11-25 15:19:30
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
siyecao2209: 金币+1, ★有帮助 2016-12-13 20:50:19
为啥用4620呢？好歹用5214e啊。4620上面，你的金属肯定爬坡了，想把4620剥掉就难了。
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4楼2016-11-29 11:57:07
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科了个研

铁虫 (小有名气)
不会的，看着金掉了就拿出来，不要泡太长时间

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2楼2016-11-26 11:17:35
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ForewarLin

新虫 (初入文坛)
Ragers研究组的文章有类似的工艺

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3楼2016-11-28 12:09:42
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siyecao2209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ForewarLin at 2016-11-28 12:09:42
Ragers研究组的文章有类似的工艺

你说的是 JA Rogers？
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5楼2016-12-01 20:48:10
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siyecao2209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-29 11:57:07
为啥用4620呢？好歹用5214e啊。4620上面，你的金属肯定爬坡了，想把4620剥掉就难了。

现有的胶似4620  为了图方便就用了这个  做了硅片上的剥离实验 丙酮＋超声  挺容易剥离掉的
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6楼2016-12-01 20:49:36
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
siyecao2209: 金币+1, ★有帮助 2016-12-13 20:50:44
引用回帖:
6楼: Originally posted by siyecao2209 at 2016-12-01 20:49:36
现有的胶似4620  为了图方便就用了这个  做了硅片上的剥离实验 丙酮＋超声  挺容易剥离掉的...

最后要拿到的就是200nm的金膜吗？取出来的时候不会损坏吗
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7楼2016-12-12 09:55:49
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siyecao2209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by exciting73 at 2016-12-12 09:55:49
最后要拿到的就是200nm的金膜吗？取出来的时候不会损坏吗...

不是要Au薄膜   我需要的就是PDMS+Au结构

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8楼2016-12-12 10:11:19
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
siyecao2209: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-12-13 20:50:55
引用回帖:
8楼: Originally posted by siyecao2209 at 2016-12-12 10:11:19
不是要Au薄膜   我需要的就是PDMS+Au结构
...

PDMS比4620耐受有机溶剂要强不少，剥离过程应该不会对PDMS造成损坏。也可用负胶做lift-off工艺，剥离很容易，不用超声的。
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9楼2016-12-12 15:47:58
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siyecao2209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by exciting73 at 2016-12-12 15:47:58
PDMS比4620耐受有机溶剂要强不少，剥离过程应该不会对PDMS造成损坏。也可用负胶做lift-off工艺，剥离很容易，不用超声的。...

嗯嗯~~谢谢你的回复  但是我在做的过程中存在另一个问题就是在PDMS基底上用4620光刻 显影的时候很容易出现裂纹 是怎么回事呢  有没有办法解决？
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10楼2016-12-12 17:25:15
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