24小时热门版块排行榜    

查看: 3709  |  回复: 13
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

siyecao2209

新虫 (初入文坛)

[求助] PDMS上溅射金属 已有2人参与

想在PDMS(道康宁184)上溅射金属。1.spin-coating的方式在硅片上涂一层PDMS;2.采用AZ4620进行光刻;3.溅射200nm的Au。上述过程已经完成,现在要剥离掉AZ光刻胶,请问采用什么方式比较合适?传统的丙酮会不会将PDMS也剥离掉呢?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

siyecao2209

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by exciting73 at 2016-12-12 15:47:58
PDMS比4620耐受有机溶剂要强不少,剥离过程应该不会对PDMS造成损坏。也可用负胶做lift-off工艺,剥离很容易,不用超声的。...

嗯嗯~~谢谢你的回复  但是我在做的过程中存在另一个问题就是在PDMS基底上用4620光刻 显影的时候很容易出现裂纹 是怎么回事呢  有没有办法解决?
10楼2016-12-12 17:25:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答

科了个研

铁虫 (小有名气)

不会的,看着金掉了就拿出来,不要泡太长时间

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-11-26 11:17:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ForewarLin

新虫 (初入文坛)

Ragers研究组的文章有类似的工艺

发自小木虫Android客户端
3楼2016-11-28 12:09:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖


siyecao2209: 金币+1, 有帮助 2016-12-13 20:50:19
为啥用4620呢?好歹用5214e啊。4620上面,你的金属肯定爬坡了,想把4620剥掉就难了。
4楼2016-11-29 11:57:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[找工作] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 10:39 by 3OOjAIS77qg2
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 6/300 2026-08-08 10:19 by 3OOjAIS77qg2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 4/200 2026-08-08 08:27 by 6vVgjDL4CnGu
[基金申请] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 4/200 2026-08-08 08:21 by 6vVgjDL4CnGu
[考博] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 3/150 2026-08-08 03:47 by 6vVgjDL4CnGu
[基金申请] 基金中了 +14 laoda193707 2026-08-06 14/700 2026-08-08 00:23 by 实验小白ha
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变,有变的大神么? +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +9 且听虎啸 2026-08-07 12/600 2026-08-07 21:53 by 理想三旬2025
[基金申请] 固定端突然变了,今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 听说今天filecode变了 +24 布布和一二 2026-08-06 47/2350 2026-08-07 16:02 by zhiyanjiang
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 8月时间戳变的,举个手。玩一下,释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 有没有H口的?有收到消息的吗? +3 超级海虾 2026-08-04 3/150 2026-08-04 17:26 by 学教育滴
[基金申请] 纯娱乐,不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
[基金申请] 面上提前没消息,有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 18/900 2026-08-04 14:42 by archvillain
[基金申请] 什么时候能放榜呀? +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
请填处理意见