应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PDMS上溅射金属
51/1返回列表
查看: 3471  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

siyecao2209

新虫 (初入文坛)

[求助] PDMS上溅射金属 已有2人参与

想在PDMS（道康宁184）上溅射金属。1.spin-coating的方式在硅片上涂一层PDMS；2.采用AZ4620进行光刻；3.溅射200nm的Au。上述过程已经完成，现在要剥离掉AZ光刻胶，请问采用什么方式比较合适？传统的丙酮会不会将PDMS也剥离掉呢？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

微纳尺度全分析

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2016-11-25 15:19:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
siyecao2209: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-12-13 20:50:55
引用回帖:
8楼: Originally posted by siyecao2209 at 2016-12-12 10:11:19
不是要Au薄膜   我需要的就是PDMS+Au结构
...

PDMS比4620耐受有机溶剂要强不少，剥离过程应该不会对PDMS造成损坏。也可用负胶做lift-off工艺，剥离很容易，不用超声的。
赞一下 回复此楼
9楼2016-12-12 15:47:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答

科了个研

铁虫 (小有名气)
不会的，看着金掉了就拿出来，不要泡太长时间

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-11-26 11:17:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ForewarLin

新虫 (初入文坛)
Ragers研究组的文章有类似的工艺

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2016-11-28 12:09:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
siyecao2209: 金币+1, ★有帮助 2016-12-13 20:50:19
为啥用4620呢？好歹用5214e啊。4620上面，你的金属肯定爬坡了，想把4620剥掉就难了。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2016-11-29 11:57:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料求调剂 +5 @taotao 2026-03-21 5/250 2026-03-21 20:55 by lbsjt
[基金申请] 山东省面上项目限额评审 +3 石瑞0426 2026-03-19 3/150 2026-03-21 18:59 by RRRKKK
[考研] 材料学硕333求调剂 +3 北道巷 2026-03-18 3/150 2026-03-21 18:17 by 学员8dgXkO
[考研] 求助 +5 梦里的无言 2026-03-21 6/300 2026-03-21 17:51 by 学员8dgXkO
[考研] 求调剂 +6 Mqqqqqq 2026-03-19 6/300 2026-03-21 08:04 by JourneyLucky
[考研] 310求调剂 +3 baibai1314 2026-03-16 3/150 2026-03-21 03:56 by JourneyLucky
[考研] 085700资源与环境308求调剂 +12 墨墨漠 2026-03-18 13/650 2026-03-21 01:42 by JourneyLucky
[考研] 22408 344分 求调剂 一志愿 华电计算机技术 +4 solanXXX 2026-03-20 4/200 2026-03-20 23:49 by alg094825
[考研] 330求调剂 +4 小材化本科 2026-03-18 4/200 2026-03-20 23:13 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工 +8 安全上岸！ 2026-03-16 8/400 2026-03-20 22:13 by luoyongfeng
[考研] 295材料求调剂，一志愿武汉理工085601专硕 +5 Charlieyq 2026-03-19 5/250 2026-03-20 20:35 by JourneyLucky
[考研] 260求调剂 +3 朱芷琳 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:35 by 学员8dgXkO
[考研] 353求调剂 +3 拉钩不许变 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:56 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工调剂 324分 +10 llllkkkhh 2026-03-18 12/600 2026-03-19 14:33 by llllkkkhh
[考研] 收复试调剂生 +4 雨后秋荷 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:16 by elevennnne
[考研] 312求调剂 +8 陌宸希 2026-03-16 9/450 2026-03-18 12:39 by Linda Hu
[考研] 334求调剂 +3 志存高远意在机� 2026-03-16 3/150 2026-03-18 08:34 by lm4875102
[硕博家园] 湖北工业大学 生命科学与健康学院-课题组招收2026级食品/生物方向硕士 +3 1喜春8 2026-03-17 5/250 2026-03-17 17:18 by ber川cool子
[考研] 有没有道铁/土木的想调剂南林，给自己招师弟中～ +3 TqlXswl 2026-03-16 7/350 2026-03-17 15:23 by TqlXswl
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭